新型の電界放出形走査電子顕微鏡を発売

摘要

日立ハイテクノロジーズは新開発のコールドFE電子銃を搭載することで，超高分解能観察の実現と長時間安定した分析を可能にした，新型の電界放出放出形走査電子顕微鏡「SU8220」，「SU8230」，「SU8240」を開発し，「SU8200」シリーズとして発売した。