旭化成イーマテリアルズArF露光対応ペリクルを上市

摘要

旭化成イーマテリアルズはこのほど，半導体用途向けのフッ化アルゴン（ArF）露光対応ペリクルを上市するとともに，生産技術の革新により半導体用途ペリクルの生産能力を倍増させ，今後の半導体製造プロセスのさらなる微細化に伴う最先端ペリクルの需要に十分対応可能な供給体制を整えた。