Alダメージレス絶縁膜エッチング液を開発

摘要

林純薬工業はこのはど，シリコン酸化膜およびシリコン窒化膜（以下，絶縁膜）エッチング向けとして，アルミニウム（Al）ダメージレス絶縁膜エッチング液を開発した。9月よりサンプル出荷を開始し，2012年1月より順次量産を開始する。半導体製造工程における絶縁膜エッチングでは，エッチング液としてフッ化水素（HF）やフッ化アンモニウム（NH4F），もしくはその混合液であるバッファードフッ酸（BHF）が従来より広く使用されている。