三氧化二铝绝缘膜电击穿特性的研究

摘要

在半导体技术中,制造晶体管和大规模集成电路时,用Al_2O_3绝缘膜作为钝化膜已越来越普遍,特别是在制造绝缘栅场效应晶体管,如MAS和MAOS器件中用Al_2O_3绝缘膜作绝缘栅,具有较高的稳定性和可靠性.同时,三氧化二铝绝缘膜对钠离子有阻挡作用,能耐腐蚀,抗辐射能力较强.因此,三氧化二铝物理性质的基础研究,具有十分重要的意义.