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机译:XPS研究通过依次向硅中注入氮和碳制备的碳氮化硅膜
silicon carbonitride; thin film; ion implantation; XPS;
机译:XPS研究通过依次向硅中注入氮和碳制备的碳氮化硅膜
机译:采用有机硅前体远程氮微波等离子体化学气相沉积生产的无定形硅碳氮化膜涂层
机译:用于硅基光电器件和光学元件的富含碳的无定形碳化硅和碳腈薄膜:从UV到中外IR光谱范围的应用
机译:XANES和XES研究发光碳氮化硅薄膜
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅氧氮薄膜的微结构化学光学和电学性质的测量
机译:使用三乙基硅烷和氮气的非晶氢化碳氮化硅(a-siCN:H)薄膜的常压等离子体CVD