Lasergestutztes sensorsystem zur online-Prozesskontrolle furdas utraschallbonden

摘要

Mit dem Projekt wurde die klassische Deformationsregelung beim Ultraschall-Drahtbonden in der Mikroelektronik in innovativer Weise weiterentwickelt, indem wahrend der Reinigungsphase im Prozess der Verbindungsbildung eine zusatzliche laseroptische Bondprozessregelung erfolgt. Dazu wurde unter anderem nachgewiesen, dass ein interferometrisches Messsystem fur die Online-Erfassung der Schwingungsamplitude am bewegten Bondkopf eines Automaten realisierbar ist und ein bestimmter einzustellender Zusammenhang zwischen Schwingungsverlauf und Kontaktqualitat besteht. Es wurden Voraussetzungen geschaffen, das Anwendungsspektrum der Online-Prozess- regelung und -Prozesskontrolle beim Drahtbonden signifikant zu erweitern und damit den immer hoheren Anforde rungen an die Bond qualitat und Prozessstabilitat gerecht zu werden.