...
机译:四氟化碳和氩等离子体蚀刻的AlGaN表面之间的比较:氟杂质掺入表面的影响
AlGaN; Plasma etching damage; CF4 plasma; Ar plasma; Surface composition; Surface morphology;
机译:四氟化碳和氩等离子体蚀刻的AlGaN表面之间的比较:氟杂质掺入表面的影响
机译:通过表面波微波等离子体CVD制备的含氟非晶碳薄膜
机译:几种碳基材料的表面改性:CF_4 rf等离子体与直接F_2-气体氟化路线之间的比较
机译:在AI2O3-TiC基板上的氟基等离子体蚀刻的空气轴承表面(ABS)蚀刻的侧壁上演示了从AIF3重沉积到聚合物重沉积的改性
机译:大气压氩等离子体射流与空气杂质的等离子体化学建模,用于等离子体医学应用
机译:等离子体氟化类金刚石碳面:机制与应用纳米压印光刻
机译:碳四氟化碳等离子体中聚(1-(三甲基甲硅烷基)-1-pharyne)的表面氟化,用于气体分离膜。
机译:低功率等离子体对碳纤维表面的影响。第2部分基于间距碳纤维的低和高模量paN基纤维的比较。