最新機能を搭載したS-3400Nの紹介

摘要

走査電子顕微鏡は物質表面の微細構造を観察する装置として，ナノテクノロジー分野やバイオテクノロジー分野をはじめ，主な産業分野の研究·開発から品質管理など，多方面でその有用性が認められてきた。 試料室を低真空に保った状態で反射電子像の観察が可能な低真空SEMは，非導電性試料の前処理が不要なため観察対象が広く主流となってきている。本稿ではS-3400N形SEMの概要と特長および応用例を紹介する。