机译:HCl与Ar,H-2,O-2和Cl-2的二元混合物的等离子体中氯和氢原子的异质衰减动力学
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机译:Ar,Ar / O-2和Ar / O-2 / Cl-2电感耦合等离子体的模型和实验比较
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机译:高强度激光等离子体中部分电离氯原子中Kα排放的动力学模型
机译:在添加氢的碳氟化合物(CF4 / Ar / H-2和C4F8 / Ar / H-2)等离子体中在Si上选择性刻蚀高k HfO2膜
机译:氯原子与溴化氢反应动力学