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机译:微波ECR等离子体增强磁控溅射在室温下沉积无氢氮化硅薄膜
机译:微波ECR等离子体增强磁控溅射在室温下沉积无氢氮化硅薄膜
机译:微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积无氢氮化硅薄膜。
机译:微波ECR等离子体增强不平衡磁控溅射沉积氮化硅碳薄膜。
机译:微波ECR等离子体源增强的RF反应磁控溅射沉积用于电绝缘应用的致密SiO2薄膜
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:微波功率对ECR等离子体增强直流磁控溅射制备氢化类金刚石薄膜性能的影响*