机译:通过均质化技术进行化学气相沉积的设备规模模型和特征规模模型的组合
机译:通过均质化技术进行化学气相沉积的设备规模模型和特征规模模型的组合
机译:化学气相沉积过程中的多尺度建模:将反应器尺度与特征尺度计算耦合
机译:氢等离子体辅助化学气相沉积铜的新特征尺度模型及实验
机译:用于电离的集成等离子设备功能比例模型金属物理气相沉积
机译:对离子化金属物理气相沉积中的等离子设备和特征轮廓进行建模。
机译:用于设计和放大的数学建模大型工业气溶胶辅助化学气相沉积工艺的研究在不确定性下
机译:用均匀化技术结合化学气相沉积的设备尺度和特征尺度模型