Neue Entwicklungen aus Forschung und Praxis: Handhabungssysteme in der Mikromontage

摘要

In der Mikrosystemtechnik werden als Fertigungsverfahren uberwiegend die aus der Halbleitertechnologie hervorgegangenen Mikro-techniken genutzt. Die Montage von Mikro-Bauteilen findet jedoch unter bisher unbekannten Randbedingungen statt. Sie ist gepragt durch spezielle physikalische Effekte wie elektrostatische, kapillare, van-der-Waals- und magnetische Storkrafte. Neue Aufgaben erfordern neue physikalische, kinematische und konstruktive Ansatze, von denen einige vorgestellt werden.