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Isothermes Heisspragen von beschichteten Glaswafern

机译:镀膜玻璃晶圆的等温热冲压

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摘要

Heisspragen ist ein wirtschaftliches Verfahren zur Strukturierung von Glasern. Fur Strukturen mit Abmessungen im mm- undμm-Bereich und hohen Aspektverhaltnissen ist es notwendig, unter isothermen Prozessbedingungen zu arbeiten. Um hierbei ein Kleben des Glases amWerkzeug zu verhindern, wurden dunne Metall-, Kohlenstoff bzw. oxidische Schichten auf das Glassubstrat aufgebracht. Die Schichten wurden auf ihr Verhalten und ihre Eignung im Prageprozess untersucht. Alle Schichten zeigten eine deutliche Reduzierung der Haftkrafte und eine Verschiebung der Klebetemperatur in hohere Temperaturbereiche. Einige Schichten fuhrten sogar zur Aufhebung jeglicher Hafterscheinungen im gesamten fur das Heisspragen relevanten Viskositatsbereich. Die untersuchten Schichten verhalten sich bei kleinen Umformgraden duktil, neigen jedoch bei grosseren Dehnungen zur Rissbildung. Es wurden fluidische Demonstrationsstrukturen realisiert und erfolgreich in Floatglas gepragt. Die lateralen Strukturabmessungen der Kanale und Kammern betrugen zwischen 10μm und 2mm bei Pragetiefen bis zu 2 mm. Das grosste Aspektverhaltnis von Pragetiefe zu Strukturbreite betrug dabei 3. Die erzielbaren Genauigkeiten und Oberflachenqualitaten entsprechen dabei dem des verwendeten Werkzeuges. Die Ergebnisse der Forschungen zeigen das ausserordentliche Potential der neuartigen Beschichtungsstrategie fur das Heisspragen von Glas.
机译:热冲压是用于构造玻璃的经济过程。对于具有毫米和微米范围内的尺寸和高纵横比的结构,有必要在等温工艺条件下工作。为了防止玻璃粘附到工具上,在玻璃基板上应用了薄金属,碳或氧化层。检查了这些层的行为及其在布拉格过程中的适用性。所有层均显示出粘合力的显着降低以及粘合温度向较高温度范围的偏移。一些层甚至导致消除了与热压印有关的整个粘度范围内的任何粘附现象。所研究的层在低变形度下表现出延性,但倾向于形成具有更大膨胀的裂纹。流体演示结构得以实现,并成功浮雕在浮法玻璃中。运河和商会的横向结构尺寸在10μm和2mm之间,深度最大为2mm。棱镜深度与结构宽度的最大纵横比为3。可达到的精度和表面质量与所使用的工具相对应。研究结果表明,用于热压印玻璃的新型镀膜策略具有巨大的潜力。

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