Feindosiertes Vakuum: System fur die Werkskalibrierung und Uberprufung von Vakuumsensoren uber den Bereich von Atmospharendruck bis zum Ultrahochvakuum

摘要

Besteht der Wunsch, in einer Vakuumanlage uber einen weiten Druckbereich beliebige Arbeitspunkte anfahren und halten zu k.nnen, ist ublicherweise ein hoher technischer Aufwand mit spezifischen Regelinstrumenten fur mehrere Teilbereiche erforderlich. Unter Nutzung eines motorgesteuerten Feindosierventils ist es gelungen, eine pr.zise Druckregelung uber das gesamte Vakuumspektrum von Atmosph.re bis ins Ultrahochvakuum zu erm.glichen. Im Ergebnis steht ein kostengunstiges und einfach zu wartendes System, das insbesondere fur Testmessungen an verschiedensten Totaldrucksensoren sowie fur Werkskalibrierungen solcher Sensoren geeignet ist.