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机译:低能惰性气体离子对GaAs / AlAs参比材料理论深度分辨率的Monte Carlo模拟研究
depth profiling; depth resolution; low energy ion sputtering; Monte Carlo simulation; GaAs/AlAs reference material; AUGER-ELECTRON-SPECTROSCOPY; SUPERLATTICE;
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机译:蒙特卡罗模拟电子背散射衍射(EBsD)的空间分辨率应用于两相材料