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机译:低能氩/氢直流等离子体源对Si和SiO2的刻蚀特性
plasma etching; atomic hydrogen; wafer cleaning; UHV processing; MOLECULAR-BEAM EPITAXY; HYDROGEN; SILICON;
机译:低能氩/氢直流等离子体源对Si和SiO2的刻蚀特性
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机译:氢和氩气低能等离子体处理后硅表面的同步快铁研究
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机译:DC和RF磁控素等离子体中SiO2蚀刻特性的比较。
机译:氩气和氢气低压射频等离子体中氯硅烷等离子体变量与si薄膜沉积过程的相关性