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机译:偏置电压对磁控溅射Zr-Si-N纳米复合薄膜微观结构和物理性能的影响
Nanocomposite; Zirconium nitride; Morphology; Thin films;
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机译:通过反应磁控溅射制备的Zr-Si-N薄膜的结构和力学性能