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机译:使用等离子体浸没离子注入法在钽薄膜中掺入氮
plasma immersion ion implantation; tantalum; diffusion barrier;
机译:使用等离子体浸没离子注入法在钽薄膜中掺入氮
机译:甲烷等离子体浸没离子注入形成钛和钽碳化物薄膜
机译:通过等离子浸没离子注入法通过掺氮改性类金刚石碳膜
机译:通过使用等离子体浸没离子注入法进行氮掺入来改善氧化镧薄膜的电稳定性
机译:通过等离子体注入氧气和等离子体浸没离子注入进行分离,以形成绝缘体上硅。
机译:氮气等离子注入改性的EPDM橡胶
机译:通过等离子体增强化学气相沉积和等离子体浸没离子注入和沉积获得的非晶态碳质薄膜的光学,机械和表面特性