Modellierung optischer Messprozesse - Untersuchung der Interferenzmikroskopie mittels Simulationen

摘要

In diesem Beitrag werden die Arbeiten zum "virtuellen Interferenzmikroskop" vorgestellt. Am Fraunhofer IPT wurde eine Simulationsumgebung realisiert, mit der optische Messverfahren und im Besonderen optische Strahlengange von Weisslicht-Interferenzmikroskopen simuliert werden konnen. Grundlage dieser Simulationen ist ein Strahlverfolgungsmodul, das neben dem physikalischen auch den optischen Pfad protokolliert. Mithilfe dieser Simulationsumgebung werden Effekte ausserer Einflusse auf das Messergebnis untersucht.