Nanorisse in Halbleitern 'unter der Lupe'

摘要

Obwohl sich die Halbleitertechnologie zu einer Schlusseltechnologie des 20. Jahrhunderts mauserte, werfen gewisse Prozesse wie das Spalten von Wafern nach wie vor Fragen auf. Werkstofftechnologen der Empa untersuchten zusammen mit Forschern der EPFL und der Bookham (Switzerland) AG in einem KTI-Projekt Phanomene, wie sie beim Anritzen und Brechen in Halbleitermaterialien auftreten.