Gehausetechnologien fur SAW-Bauelemente, MEMS-Mikrofone und Drucksensoren

摘要

MEMS Bauelemente werden mehr und mehr auch in mobilen Consumer-Produkten wie Mobiltelefonen, Digitalkameras, Navigationsgeraten oder Headsets eingesetzt. SAW-Bauelemente sind seit den Anfangen des Mobilfunks Bestandteil jedes Mobiltelefons. Seit einigen Jahren nimmt auch die Anzahl von Beschleunigungssensoren, Drucksensoren und MEMS-Mikro-fonen in Consumer-Produkten stetig zu. EPCOS entwickelt in Munchen seit uber 30 Jahren Gehausetechnologienfur SAW-Bauelemente. Aufbauend auf diese Technologien werden seit 2007 sehr kleine Gehause fur MEMS-Mikrofone und MEMS-Drucksensoren entwickelt, die in diesem Bericht vorgestellt werden.