机译:通过化学或地形学指导图案指导嵌段共聚物的自组装:优化分子结构,薄膜性质和动力学
Block copolymer; Directed self-assembly (DSA); Chemoepitaxy; Graphoepitaxy; Thin film;
机译:通过化学或地形学指导图案指导嵌段共聚物的自组装:优化分子结构,薄膜性质和动力学
机译:使用拓扑引导图案指导嵌段共聚物层状微区的自组装
机译:化学构图基材上三嵌段共聚物定向自组装的进化优化
机译:SRAM,NAND,DRAM接触孔图案化,使用嵌段共聚物指导的自组装,由小形貌模板指导
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:原子薄石墨烯化学图案上嵌段共聚物薄膜的定向自组装
机译:亚10 nm地形指导图案中嵌段共聚物的自组装形态