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公开/公告号CN107210197B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN201680009251.3
发明设计人 郑雅如;M·芝奥;G·辛格;A·弗里兹;D·P·桑德斯;蔡欣妤;M·布林克;M·古罗恩;刘其俊;G·多尔克;
申请日2016-02-08
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人张蓉珺
地址 美国纽约
入库时间 2022-08-23 11:02:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-19
授权
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20160208
实质审查的生效
2017-09-26
公开
机译: 嵌段共聚物定向自组装的混合形貌和化学预图案
机译:用于无缺陷纳米图案化的化学图案化基材上的双嵌段共聚物薄膜的定向自组装
机译:通过化学图案来自二嵌段共聚物的定向自组装的杂种图案
机译:通过热退火的化学图案上的高Chi Poly(苯乙烯-A1-(乳酸-At-(乳酸 - Alt-乙醇酸))嵌段共聚物的定向自组装
机译:导向层形貌对嵌段共聚物化学外延定向自组装形成图案密度的影响
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:原子薄石墨烯化学图案上嵌段共聚物薄膜的定向自组装
机译:通过纳米压印制造的化学图案,用于嵌段共聚物定向自组装
机译:具有和不具有纳米图案的平面狭缝中对称二嵌段共聚物的自组装:来自耗散粒子动力学模拟的洞察 - 支持信息