机译:将Taguchi方法与人工神经网络结合以构建用于近场光刻实验的预测模型
Near-field photolithography; Line segment fabrication; Taguchi method; Artificial neural network;
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机译:一种使用人工神经网络和Taguchi方法进行鲁棒性产品和过程设计的新方法。
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