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Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement
Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement
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1.
High-resolution tracing method for monitoring metal contaminants in silicon device manufacturing processes
机译:
用于监测硅装置制造工艺中金属污染物的高分辨率跟踪方法
作者:
Hirofumi Shimizu
;
Shuichi Ishiwari
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
2.
Analysis of phosphorous autodoping in P-type silicon measured using corona oxide silicon (COS) techniques
机译:
使用电晕氧化硅(COS)技术测量p型硅的磷自模分析
作者:
Brian Letherer
;
Gregory Horner
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
3.
New sample preparation method for improved defect characterization yield on bare wafers
机译:
新的样品制备方法,用于改善裸晶圆上的缺陷表征产量
作者:
Christophe J. Roudin
;
Patrick D. Kinney
;
Yuri S. Uritsky
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
4.
Innovating SRAM design and test program for fast process-related defect recognition and failure analysis
机译:
创新SRAM设计和测试程序,以实现快速处理相关的缺陷识别和失败分析
作者:
Peter Coppens
;
Guido Vanhorebeek
;
Eddy De Backer
;
Xiao J. Yuan
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
5.
Degradation zones of semiconductor target (Si) formed as a result of nanosecond UV laser material processing
机译:
由纳秒UV激光材料加工的结果形成半导体靶(Si)的降解区域
作者:
Andrew R. Novoselov
;
Anatoly G. Klimenko
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
6.
Responsivity of GaN and (GaAl)N band-gap-graded ultraviolet p-n detectors
机译:
GaN和(GAAL)N带隙分级紫外P-N探测器的响应性
作者:
Michal J. Malachowski
;
Kazimierz J. Plucinski
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
7.
Defect-free IDDQ with reverse body bias
机译:
逆转身体偏置的免费IDDQ
作者:
Xiaomei Liu
;
Samiha Mourad
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
8.
Influence of metal deposition temperature on deep-submicrometer metal lithography
机译:
金属沉积温度对深层亚微米金属光刻的影响
作者:
Vijaya Subramaniam
;
Daniel D. Siems
;
Martin P. Karnett
;
Sonu R. Maheshwary
;
Harlan Sur
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
9.
Failure analysis of wafer-level reliability testing failure
机译:
晶圆级可靠性测试失败的故障分析
作者:
Chong K. Oh
;
Soh P. Neo
;
Jian H. Bi
;
Zong M. Wu
;
Lian C. Goh
;
Shailesh Redkar
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
10.
Innovative integrated plasma tool for process and exhaust monitoring
机译:
用于工艺和排气监控的创新综合等离子体工具
作者:
Eric Chevalier
;
Philippe Maquin
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
11.
Hot-carrier degradation study of high-density plasma (HDP) oxide deposition process in deep-submicron NMOSFETs
机译:
高密度等离子体(HDP)氧化物沉积过程的热载流量降解研究深亚微米射孔
作者:
Pei Yao
;
Xu Zeng
;
Keng F. Lo
;
Qiang Guo
;
Pee Y. Tan
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
12.
SEM-based automatic defect classification (ADC)
机译:
基于SEM的自动缺陷分类(ADC)
作者:
Fred Lakhani
;
Wanda Tomlinson
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
13.
Using the surface charge profiler for in-line monitoring of doping concentration in silicon epitaxial wafer manufacturing
机译:
使用表面电荷分析器在硅外延晶片制造中进行掺杂浓度的在线监测
作者:
Joshua P. Tower
;
Emil Kamieniecki
;
M.C. Nguyen
;
Adrien Danel
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
14.
Influence of different materials on the thermal behavior of a CDIP-8 ceramic package
机译:
不同材料对CDIP-8陶瓷包装热行为的影响
作者:
Kirsten Weide
;
Christian Keck
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
15.
Defect reduction strategy for plasma etch
机译:
等离子体蚀刻的缺陷减少策略
作者:
Richard Y. Yang
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
16.
Silicide sheet resistivity and metal film stress measurements as emissivity-independent techniques for RTP temperature monitoring
机译:
硅化物片电阻率和金属膜应力测量作为RTP温度监测的发射率无关技术
作者:
Ingrid Jonak-Auer
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
17.
Integrated yield and CD enhancement for advanced DUV lithography
机译:
高级DUV光刻的综合产量和CD增强
作者:
Murthy S. Krishna
;
Emir Gurer
;
Tom X. Zhong
;
Ed C. Lee
;
John W. Salois
;
Reese M. Reynolds
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
18.
Identification of amorphous silicon residues in a low-power CMOS technology
机译:
低功率CMOS技术中非晶硅残留物的识别
作者:
Alexandre Acovic
;
Philippe A. Buffat
;
Paul Brander
;
Peter Jacob
;
Oliver Jeandupeux
;
Vittorio Marsico
;
Daniel Rosenfeld
;
Jacques Moser
;
Markus Kohli
;
Roger Fluckiger
;
Karim Belkacem
;
Pierre Fazan
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
19.
COCOS oxide film characterization and monitoring
机译:
Cocos氧化膜表征和监测
作者:
Andrew M. Hoff
;
Damon K. DeBusk
;
Robert W. Schanzer
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
20.
Gate dielectric monitoring using noncontact electrical characterization
机译:
使用非接触式电学表征的栅极电介质监控
作者:
Jerzy Ruzyllo
;
P.Roman
;
D.O. Lee
;
M.Brubaker
;
Emil Kamieniecki
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
21.
Metal-fill optical test structures for improved chemical mechanical polishing
机译:
金属填充光学测试结构,改进化学机械抛光
作者:
Shadi A. AbuGhazaleh
;
Phillip Christie
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
22.
Frequency distribution modeling for high-speed microprocessors using on-chip ring oscillators
机译:
芯片环形振荡器高速微处理器的频率分布建模
作者:
John M. Carulli
;
Derek C. Wrobbel
;
Aswin Mehta
;
Kenneth E. Krause
;
Brad E. Campbell
;
Fred A. Valente
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
23.
Pioneering breakthroughs in implant monitor wafer cost reduction at 300 mm
机译:
植入物监测晶圆成本降低300毫米的开创性突破
作者:
Jason S. Zeakes
;
Terry A. Breeden
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
24.
Particle issues in spin-on dielectric materials
机译:
旋转介电材料中的粒子问题
作者:
Thomas R. Washer
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
25.
Fatal defect detection from visual abnormalities of logic LSI using IDDQ
机译:
使用IDDQ从逻辑LSI视觉异常检测致命缺陷检测
作者:
Masaru Sanada
;
Hiromu Fujioka
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
26.
In-line monitoring of chemical-mechanical polishing processes
机译:
化学机械抛光过程的在线监测
作者:
Dale L. Hetherington
;
David J. Stein
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
27.
Process and yield improvement based on fast in-line automatic defect classification
机译:
基于快速在线自动缺陷分类的过程和产量改进
作者:
Andrew Skumanich
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
28.
Effect of Fe and Cu contamination on the reliability of ultrathin gate oxides
机译:
Fe和Cu污染对超栅氧化物可靠性的影响
作者:
John DAmico
;
Lubek Jastrzebski
;
Marshall Wilson
;
Alexandre Savtchouk
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
29.
Practical manufacturing technique for reducing charge-induced gate oxide degradation during ion implantation
机译:
用于减少离子注入期间电荷诱导栅极氧化物降解的实用制造技术
作者:
Kenneth G. Moerschel
;
W.A. Possanza
;
James Sung
;
M.A. Prozonic
;
T.Long
;
J.Pavlo
;
T.Chrapacz
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
30.
Properties of ultrathin gate oxides grown in N2O-based oxidation ambients by rapid thermal processing
机译:
快速热处理在N2O基氧化氧化物中生长的超薄栅极氧化物的性质
作者:
Y.B. Jia
;
O.G. Pan
;
Long-Ching Wang
;
Patrick Lo
;
S.K. Lee
;
Jeong Y. Choi
;
James Shih
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
31.
Online characterization of HSG polysilicon by AFM
机译:
AFM的HSG多晶硅在线表征
作者:
Larry M. Ge
;
M.A. el-Hamdi
;
Roger Alvis
;
S.Sawaya
;
D.Gifford
;
R.Lainez
;
L.Hendrix
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
32.
Ultrathin gate oxide degradation under different rates of charge injection
机译:
超薄栅极氧化物降解在不同电荷注射率下
作者:
Pitsini Mongkolkachit
;
Bharat L. Bhuva
;
Sharad Prasad
;
N.Bui
;
Sherra E. Kerns
会议名称:
《Conference on in-line methods and monitors for process and yield improvement》
|
1999年
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