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International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
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1.
AN RFMEMS BASED REFLECTION TYPE C-KU BAND TUNABLE BAND PASS FILTER
机译:
基于RFMEMS的反射式C-KU频带可调带通滤波器
作者:
S. S. Lee
;
T. Nishino
;
Y. Kitsukawa
;
N. Konno
;
M. Miyazaki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
RFMEMS switch;
Band rejection filter;
CPW hybrid coupler;
Tunable band pass filter;
2.
SELF-POWERED OPTICAL SENSOR SYSTEMS
机译:
自动光学传感器系统
作者:
H. Wu
;
A. Emadi
;
G. de Graaf
;
J. Leijtens
;
R. F. Wolffenbuttel
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy scavenging;
Self-powering;
Optical system;
Sun sensor;
Photodiode;
3.
A NOVEL DEVICE FOR PARTICLE BATCH SEPARATION BASED ON DIELECTROPHORESIS
机译:
基于介电泳的粒子批量分离的新装置
作者:
L. Zhang
;
A. Bossche
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microfluidics;
Separation;
Dielectrophoresis;
4.
TEMPERATURE-INSENSITIVE SILICON CARBIDE RESONANT MICRO-EXTENSOMETERS
机译:
温度不敏感的碳化硅谐振微宽度计
作者:
R. G. Azevedo
;
D. R. Myers
;
A. P. Pisano
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Strain;
Gauge;
Gage;
Resonator;
Resonant;
Silicon carbide;
SiC;
Temperature compensation;
5.
SELF-ALIGNED ELECTROSTATIC ANGULAR VERTICAL COMB ACTUATORS ASSEMBLED ON-CHIP USING IN-PLANE ELECTROTHERMAL ACTUATORS
机译:
自对准静电角垂直梳致动器使用平面内电热致动器组装片上芯片
作者:
Y. Eun
;
H. Na
;
J. Choi
;
J. Kim
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Electrostatic Actuator;
Microscanner;
Angular Vertical Comb-Drive;
Self-Aligned;
6.
SELF-ALIGNED MICRO CONTACT PRINTING USING MEMS
机译:
使用MEMS自对微接触式印刷
作者:
K. Choonee
;
R. R. A. Syms
;
H. Zou
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micro contact printing;
Electrostatic;
MEMS;
7.
ORGANIC EMITTING LAYER FORMATION WITH MICROFLUIDIC CHANNEL FOR MULTI-COLORED OLED ARRAY
机译:
多色OLED阵列微流体通道的有机发光层形成
作者:
S. Takaya
;
N. Misawa
;
S. Takeuchi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Poly-dimethylsiloxane;
Microfluidic channel;
Organic emitting diode;
8.
A NOVEL SOI Z-AXIS ACCELEROMETER WITH GAP CLOSING DIFFERENTIAL SENSING ELECTRODES
机译:
具有间隙闭合差分传感电极的新型SOI Z轴加速度计
作者:
Chia-Pao Hsu
;
Ming-Chuen Yip
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
SOI;
Gap closing;
Accelerometer;
9.
3D HIGH ASPECT RATIO, MEMS INTEGRATED MICRO-SOLENOIDS AND HELMHOLTZ MICRO-COILS
机译:
3D高纵横比,MEMS集成的微螺线管和亥姆霍兹微卷
作者:
V. Badilita
;
K. Kratt
;
T. Burger
;
J. G. Korvink
;
U. Wallrabe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
3D micro-coils;
Wire-bonding;
Energy harvesting;
10.
NEW ELECTRICAL CONNECTION TECHNOLOGY FOR MICROSYSTEMS USING INTELLIGENT PRINTING AND FUNCTIONAL NANOSCALED INKS
机译:
使用智能印刷和功能性纳米型油墨的微系统新电气连接技术
作者:
H. Sturm
;
C. Sosna
;
R. Buchner
;
C. Werner
;
D. Godlinski
;
V. Zollmer
;
M. Busse
;
W. Lang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Functional printing;
Conductive inks;
Nanoscaled inks;
Nanoparticles;
11.
NEAR-FIELD ION FLOW FOR MOLECULAR SCALE MANIPULATION
机译:
用于分子尺度操纵的近场离子流量
作者:
T. H. Chen
;
F. Wei
;
C. M. Ho
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Surface Modification;
Electrokinetics;
12.
PASSIVE FLOW-RATE REGULATORS USING THE PARALLEL MEMBRANE VALVES RECTIFYING DYNAMIC INLET PRESSURE
机译:
使用并联膜阀整流动态入口压力的被动流量稳压器
作者:
Il Doh
;
Young-Ho Cho
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Passive flow-rate regulator;
Parallel membrane valve;
Dynamic inlet pressure;
Autonomous flow-rate control;
13.
EFFECT OF NONLINEAR EXTERNAL CIRCUIT ON ELECTROSTATIC DAMPING FORCE OF MICRO ELECTRET GENERATOR
机译:
非线性外部电路对微驻极体发生器静电阻尼力的影响
作者:
Daigo Miki
;
Yuji Suzuki
;
Nobuhide Kasagi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy harvesting;
Electret;
Nonlinear circuit;
Impedance conversion;
Damping force;
14.
HIGH-PERFORMANCE MICRO SCALE THERMOELECTRIC COOLER: AN OPTIMIZED 6-STAGE COOLER
机译:
高性能微尺度热电冷却器:优化的6级冷却器
作者:
A. Gross
;
G. Hwang
;
B. Huang
;
H. Yang
;
N. Ghafouri
;
H. Kim
;
C. Uher
;
M. Kaviany
;
K. Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microcooler;
Thermoelectrics;
Bismuth Telluride;
Antimony Telluride;
Cryogenic Cooling;
15.
CMOS-INTEGRATED POLY-SIGE CANTILEVERS WITH READ/WRITE SYSTEM FOR PROBE STORAGE DEVICE
机译:
CMOS-Integrated Poly-SiGe悬臂器,具有探针存储装置的读/写系统
作者:
S. Severi
;
J. Heck
;
T. K. A. Chou
;
N. Belov
;
J. S. Park
;
D. Harrar
;
A. Jain
;
R. Van Hoof
;
B. Du Bois
;
J. De Coster
;
O. V. Pedreira
;
M. Willegems
;
J. Vaes
;
G. Jamieson
;
L. Haspeslagh
;
D. Adams
;
V. Rao
;
S. Decoutere
;
A. Witvrouw
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Scanning Probe Microscopy (SPM);
Probe storage;
High capacity memory;
Micro cantilever;
Sharp tip fabrication;
Poly-SiGe;
CMOS-MEMS integration;
16.
A MEMS-BASED DUAL-AXIS TILT SENSOR USING AIR MEDIUM
机译:
使用空气介质的基于MEMS的双轴倾斜传感器
作者:
J. C. Choi
;
C. M. Park
;
J. K. Lee
;
S. H. Kong
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Tilt sensor;
Inclinometer;
Air medium;
Convection;
MEMS;
17.
OPTICAL MEMS FOR INFORMATION TECHNOLOGIES
机译:
信息技术的光学模型
作者:
H. Toshiyoshi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Optical MEMS;
Modulation;
Switch;
Display;
Endoscope;
18.
SINGLE-SIDE MICROMACHINED LOW-COST QUAD-CANTILEVER SENSORS WITH A HIGH-SENSITIVE MONOLAYER SELF-ASSEMBLED FOR TRACE TNT DETECTION
机译:
单侧微机械的低成本四悬臂传感器,具有高敏感的单层自动组装,用于跟踪TNT检测
作者:
Pengcheng Xu
;
Ying Chen
;
Yongliang Yang
;
Yongjing Liu
;
Jungang Li
;
Guomin Zuo
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microcantilever;
Low-cost high-yield process;
Self-assembled monolayer;
Trace TNT detection;
19.
CULTURE AND DIFFERENTIATION OF AMNIOTIC STEM CELLS IN A MICROFLUIDIC SYSTEM
机译:
微流体系统中羊水干细胞的培养与分化
作者:
Huei-Wen Wu
;
Xi-Zhang Lin
;
Shiaw-Min Hwang
;
Gwo-Bin. Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MSC;
Cell culture;
Differentiation;
MEMS;
Microfluidics;
20.
NOVEL MEMS GRIPPERS CAPABLE OF BOTH GRASPING AND ACTIVE RELEASE OF MICRO OBJECTS
机译:
新型MEMS夹具能够抓住和主动释放微物体
作者:
B. K. Chen
;
Y. Zhang
;
Y. Sun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micromanipulation;
MEMS microgripper;
Adhesion forces;
Active release;
21.
SELECTIVE PRECONCENTRATION BY TEMPERATURE MANIPULATION OF CASCADED MICRO PRECONCENTRATORS
机译:
通过级联微预凝固器的温度操纵选择性预浓缩
作者:
B. Alfeeli
;
M. Agah
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Breath analysis;
Micro total analytical systems;
Micro gas chromatography;
Volatile organic compound;
22.
SELECTIVE REMOVAL OF MICRO-CORRUGATION BY ANISOTROPIC WET ETCHING
机译:
通过各向异性湿法蚀刻选择性去除微波纹
作者:
N. Inagaki
;
H. Sasaki
;
M. Shikida
;
K. Sato
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
DRIE;
Anisotropic Wet Etching;
Scalloping;
Corrugation;
23.
A TEMPLATE-BASED FABRICATION TECHNIQUE FOR SPATIALLY-DESIGNED POLYMER MICRO/NANOFIBER COMPOSITES
机译:
用于空间设计的聚合物微/纳米纤维复合材料的基于模板的制造技术
作者:
Nisarga Naik
;
Jeff Caves
;
Vivek Kumar
;
Elliot Chaikof
;
Mark G. Allen
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micro/nanofibers;
Microtransfer molding;
Collagen;
Fiber composite;
24.
SUSPENDED MICROSTRUCTURES MADE USING SILICON MIGRATION
机译:
使用硅迁移制造的悬浮微结构
作者:
R. Kant
;
M. Ziaei-Moayyed
;
R. T. Howe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Large area release;
Silicon migration;
Simulation;
25.
ELECTROMAGNETIC MICRO GENERATOR ARRAY CONSISTING OF 3D MICRO COILS OPPOSING A MAGNETIC PDMS MEMBRANE
机译:
电磁微发电机阵列由3D微线圈组成,相对于磁性PDMS膜
作者:
B. Mack
;
K. Kratt
;
M. Sturmer
;
U. Wallrabe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Electromagnetic;
Converter;
Energy harvesting;
Vibration;
26.
WAFER LEVEL FABRICATION OF HIGH PERFORMANCE MEMS USING BONDED AND THINNED BULK PIEZOELECTRIC SUBSTRATES
机译:
使用粘合和薄的散装压电基板制造高性能MEM的晶片水平
作者:
E. E. Aktakka
;
H. Kim
;
K. Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Piezoelectric;
Solder bonding;
Parylene bonding;
Lapping;
Actuators;
Sensors;
PZT;
27.
EXPLOITATION OF AEROELASTIC EFFECTS FOR DRIFT REDUCTION IN AN ALL-POLYMER AIR FLOW SENSOR
机译:
用于漂移的空气弹性效应,对全聚合物空气流量传感器的漂移减少
作者:
C. Song
;
A. R. Aiyar
;
S. H. Kim
;
M. G. Allen
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Vibration-amplitude measurement;
All-polymer air-flow sensor;
Flow-induced vibration;
Drift reduction;
Flex-PCB;
28.
SENSITIVITY ENHANCEMENT OF PIEZORESISTIVE MICRO ACCELERATION SENSORS WITH NANOMETER STRESS CONCENTRATION REGIONS ON SENSING ELEMENTS
机译:
感应元件纳米应力集中区压阻微加速度传感器的灵敏度增强
作者:
R. Amarasinghe
;
D. V. Dao
;
V. T. Dau
;
B. T. Tung
;
S. Sugiyama
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Piezoresistive;
Accelerometer;
29.
LINEARLY VARIABLE INDUCTOR WITH RF MEMS SWITCHES TO ENLARGE A CONTINUOUS TUNING RANGE
机译:
具有RF MEMS开关的线性变量电感,以放大连续调谐范围
作者:
Dong-Hoon Choi
;
Hyung Suk Lee
;
Jun-Bo Yoon
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Variable inductor;
Reconfigurable RF circuit;
RF MEMS switch;
30.
NOVEL MICROFLUIDIC CHIP GENERATING MONO-DISPERSE CORE-SHELL MICROCAPSULES
机译:
新型微流体芯片产生单分散芯壳微胶囊
作者:
C. Kim
;
E. Kang
;
Y. E. Kim
;
K. J. Lee
;
T. S. Kim
;
J. Y. Kang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microcapsule;
3D hydrodynamic focusing;
Microfluidic;
31.
INTEGRATED SiO_2 MICROTUBE-BASED ELECTRICAL NEUROPROBE ARRAY
机译:
集成SiO_2基于MicroTube的电动神经诊断阵列
作者:
Kuniharu Takei
;
Akifumi Fujishiro
;
Takahiro Kawashima
;
Kazuaki Sawada
;
Hidekazu Kaneko
;
Takeshi Kawano
;
Makoto Ishida
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Vapor-Liquid-Solid (VLS);
Microneedle;
Microtube;
Neural probe;
32.
MICROFLUIDIC HIGH-RESOLUTION NMR CHIP FOR BIOLOGICAL FLUIDS
机译:
用于生物流体的微流体高分辨率NMR芯片
作者:
J. G. E. Gardeniers
;
J. Bart
;
A. J. Kolkman
;
A. J. de Vries
;
J. W. G. Janssen
;
P. J. M. van Bentum
;
K. A. M. Ampt
;
S. S. Wijmenga
;
A. P. M. Kentgens
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microfluidics;
NMR;
Biological fluids;
Mass-limited samples;
33.
INVESTIGATION OF ANTI-STICTION COATING USING π-CONJUGATED HYDROPHOBIC SELF-ASSEMBLED MONOLAYER FOR OHMIC CONTACT MEMS SWITCH
机译:
用于欧姆接触MEMS开关的π缀合的疏水自组装单层对抗滞涂涂层的研究
作者:
T. Yamashita
;
T. Itoh
;
T. Suga
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Contact resistance;
MEMS switch;
Self-assembled monolayer;
Stiction;
34.
DUAL-SCALED STABLE SUPERHYDROPHOBIC NANO-FLOWER SURFACES
机译:
双级稳定的超疏水纳米花表面
作者:
Longquan Chen
;
Zhiyong Xiao
;
Philip C. H. Chan
;
Yi-Kuen Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Superhydrophobic surfaces;
Dual-scaled roughness;
MPCVD;
Nano-flower;
Apparent contact angle;
35.
MEMS ON ROBOT APPLICATIONS
机译:
关于机器人应用的MEMS
作者:
K. Noda
;
Y. Hashimoto
;
Y. Tanaka
;
I. Shimoyama
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS;
Robotics;
Tactile sensor;
Proximity sensor;
36.
AN ELECTROMAGNETICALLY ACTUATED MICROSPEAKER WITH FULLY-INTEGRATED WAX-BONDED ND-FE-B MICROMAGNETS FOR HEARING AID APPLICATIONS
机译:
具有全集成的蜡粘合的ND-Fe-B微型仪的电磁致动的微型烧声,用于助听器应用
作者:
Sang-Soo Je
;
Naigang Wang
;
Henry C. Brown
;
David P. Arnold
;
Junseok Chae
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS;
Microspeaker;
Hearing aids;
Nd-Fe-B permanent magnet;
Micromagnets;
37.
ROOM-TEMPERATURE WAFER-LEVEL HERMETIC SEALING FOR LIQUID RESERVOIRS BY GOLD RING EMBOSSING
机译:
金戒指压印的室温晶圆级气密密封液体储层
作者:
M. A. Lapisa
;
F. Niklaus
;
G. Stemme
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Room-temperature sealing;
Liquid encapsulation;
Hermetic reservoir;
Wafer-level hermetic sealing;
38.
CMUT-IN-CMOS ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAYS WITH ON-CHIP ELECTRONICS
机译:
CMOT-CMOS超声波换能器阵列,带片上电子器件
作者:
X. Cheng
;
D. F. Lemmerhirt
;
O. D. Kripfgans
;
M. Zhang
;
C. Yang
;
C. A. Rich
;
J. B. Fowlkes
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Ultrasound;
Transducer array;
3D imaging;
CMUT;
39.
WAFER COUNTER-BONDING FOR INTEGRATING CTE-MISMATCHED SUBSTRATES AND ITS APPLICATION TO MEMS TUNEABLE METAMATERIALS
机译:
用于将CTE - 不匹配的基板集成的晶片反键合及其在MEMS可调的超材料中的应用
作者:
M. Sterner
;
G. Stemme
;
J. Oberhammer
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
40.
CMOS-COMPATIBLE BACK-END PROCESS FOR IN-PLANE ACTUATING FERROMAGNETIC MEMS
机译:
适用于面内致动铁磁体MEMS的CMOS兼容的后端过程
作者:
Michael Glickman
;
Peter Tseng
;
Jere Harrison
;
Ira B. Goldberg
;
Peter Johnson
;
Peter Smeys
;
Trevor Niblock
;
Jack W. Judy
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Permalloy;
Horizontal Actuation;
CMOS Compatible;
41.
AN INVESTIGATION OF DECOUPLING PERFORMANCE FOR A NOVEL LATERAL AXIS GYROSCOPE WITH VARYING ENVIRONMENTAL PARAMETERS
机译:
具有不同环境参数的新型横轴陀螺仪去耦性能研究
作者:
Jian Cui
;
X. S. Liu
;
Q. C. Zhao
;
L. T. Lin
;
X. Z. Chi
;
Z. C. Yang
;
Guizhen Yan
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Decoupling;
Lateral axis gyroscope;
Pressure;
Temperature;
42.
A HIGH-THROUGHPUT ARRAY FOR MECHANICAL STIMULATION OF ADHERENT BIOLOGICAL CELLS
机译:
用于机械刺激粘附生物细胞的高吞吐量阵列
作者:
C. Moraes
;
C. A. Simmons
;
Y. Sun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Mechanical stimulation;
Tissue engineering;
High-throughput screening;
Cell culture;
PDMS;
Biomaterials;
43.
DEVELOPMENT OF SPDT-STRUCTURED RF MEMS SWITCH
机译:
SPDT结构RF MEMS开关的开发
作者:
Yutaka Uno
;
K. Narise
;
T. Masuda
;
K. Inoue
;
Y. Adachi
;
K. Hosoya
;
T. Seki
;
F. Sato
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Electrostatic Actuator;
Contact Reliability;
Natural Frequency;
Harmonic Amplitude;
44.
PHASEGUIDE PATTERNS FOR ADVANCED LIQUID HANDLING IN LAB-ON-A-CHIP SYSTEMS
机译:
实验室内系统中的先进液体处理的相机图案
作者:
P. Vulto
;
S. Podszun
;
P. Meyer
;
G. A. Urban
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Capillary pressure;
Phaseguides;
Microfluidics;
Gel filling;
45.
PARYLENE TO SILICON ADHESION ENHANCEMENT
机译:
聚对硅粘附增强的聚氨酯
作者:
R. Huang
;
Y. C. Tai
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
CVD thin-film;
Parylene-C;
Packaging;
Adhesion;
46.
A NOVEL METHOD FOR AMORPHOUS METAL MICROMOLDING USING CARBON MEMS
机译:
一种使用碳MEMS非晶金属微晶的新方法
作者:
R. Martinez-Duarte
;
M. J. Madou
;
G. Kumar
;
J. Schroers
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Thermoplastic Forming;
Bulk Metallic Glass;
C-MEMS;
Carbon;
Molds;
Microfabrication;
LIGA;
47.
WIRELESS IN VIVO EMG SENSOR FOR INTELLIGENT PROSTHETIC CONTROL
机译:
无线IN VIVO EMG传感器,用于智能假肢控制
作者:
Bradley D. Farnsworth
;
Dawn M. Talyor
;
Ronald J. Triolo
;
Darrin J. Young
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Implantable EMG Sensor;
Batteryless Implant;
Wireless Powering;
Phase-Shift Keying;
Telemetry;
48.
NEW POLYSILICON SENSOR AND ACTUATOR TECHNOLOGY FOR THE DEVELOPMENT OF A THERMAL PLATFORM
机译:
新的多晶硅传感器和致动器技术,用于开发热平台
作者:
B. Marty
;
T. Camps
;
J. Tasselli
;
A. Marty
;
D. Lagrange
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Polysilicon diodes;
Thermal sensors and actuators;
Glass wafers;
49.
SIMULTANEOUS MASS-DETECTION OF TWO SORTS OF ANALYTE WITH A SINGLE RESONANT MICRO-CANTILEVER
机译:
用单个谐振微悬臂同时进行两种分析物的质谱
作者:
Yongliang Yang
;
Haitao Yu
;
Guomin Zuo
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micro-cantilever sensor;
Resonance mode;
Micromachining;
Trace-level mass sensing;
50.
ALIGNMENT INSENSITIVE ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON CAVITIES WITH SMOOTH 49° SIDEWALLS
机译:
具有光滑49°侧壁的硅空腔的对准不敏感各向异性蚀刻
作者:
C. Shen
;
H. T. M. Pham
;
P. M. Sarro
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH);
Anisotropic etching;
Silicon bulk micromachining;
51.
OSCILLATOR FAR-FROM-CARRIER PHASE NOISE REDUCTION VIA NANO-SCALE GAP TUNING OF MICROMECHANICAL RESONATORS
机译:
振荡器远离载波相位降噪通过微机械谐振器的纳米级间隙调谐
作者:
Mehmet Akgul
;
Bongsang Kim
;
Li-Wen Hung
;
Yang Lin
;
Wei-Chang Li
;
Wen-Lung Huang
;
Ilya Gurin
;
Ashkan Borna
;
Clark T. C. Nguyen
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS resonator;
Oscillator phase noise;
Atomic layer deposition;
Capacitive transducer;
52.
A QUATERNARY MICROFLUIDIC MULTIPLEXER USING DYNAMIC CONTROL OF PRESSURE VALVES HAVING DIFFERENT THRESHOLDS
机译:
使用不同阈值的压力阀的动态控制季微流体多路复用器
作者:
Dong Woo Lee
;
Young-Ho Cho
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Quaternary multiplexer;
Pressure valve;
Dynamic pressure control;
53.
A PIEZO-ACTUATED CLOSED LOOP MEMS SYSTEM FOR ACTIVE DELAY OF TRANSITION
机译:
用于主动延迟过渡的压电闭环MEMS系统
作者:
D. Haller
;
J. Hempel
;
A. Paetzold
;
N. Losse
;
I. Peltzer
;
W. Nitsche
;
R. King
;
P. Woias
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Piezo actuators;
Active transition control;
TS waves;
54.
A WIRELESS-COMPATIBLE CMOS-BASED CELLULAR SENSOR
机译:
基于无线兼容的CMOS的蜂窝传感器
作者:
M. Anwar
;
P. Matsudaira
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
CMOS;
Imaging;
Array;
Cell-based;
Biosensor;
Luciferase;
55.
A NOVEL DIFFERENTIAL CAPACITIVE-SENSING DUAL-AXIS ACCELEROMETER DESIGN USING PENDULUM-PROOFMASS, GIMBAL-SPRINGS, AND HARM VERTICAL-COMBS
机译:
一种新型差动电容式双轴加速度计设计,采用摆型校样,Gimbal-Springs和伤害垂直 - 梳子
作者:
Chun-Kai Chan
;
Chia-Pao Hsu
;
Mingching Wu
;
Hong Hocheng
;
Rongshun Chen
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Accelerometer;
Capacitive;
Gimbal-spring;
HARM;
Pendulum-proofmass;
56.
DESIGN OF A NOVEL MICROREACTOR FOR MICROFLUIDIC SYNTHESIS OF SILICA NANOPARTICLES
机译:
二氧化硅纳米粒子微流体合成新微量反应器的设计
作者:
C. K. Chung
;
T. R. Shih
;
B. H. Wu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micromixer;
Nanoparticles;
Synthesis;
57.
LOCALIZED CELL LYSIS BY SELF FOCUSED ACOUSTIC TRANSDUCERS
机译:
通过自聚焦声换能器局部细胞裂解
作者:
J. Zhu
;
X. Qiu
;
J. Oiler
;
C. Yu
;
Z. Wang
;
C. Lee
;
T. K. Hsiai
;
E. S. Kim
;
H. Yu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Cell Lysis;
Acoustic Cavitation;
SFAT;
58.
A DUAL FUNCTION PARYLENE-BASED BIOMIMETIC TACTILE SENSOR AND ACTUATOR FOR NEXT GENERATION MECHANICALLY RESPONSIVE MICROELECTRODE ARRAYS
机译:
基于双函数的基于聚偶雷的基础仿生触觉传感器和用于下一代机械响应微电极阵列的致动器
作者:
C. A. Gutierrez
;
E. Meng
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Parylene C;
Tactile sensing;
Movable electrodes;
59.
ENHANCING PARAMETRIC SENSITIVITY USING MODE LOCALIZATION IN ELECTRICALLY COUPLED MEMS RESONATORS
机译:
使用电耦合MEMS谐振器中的模式定位增强参数灵敏度
作者:
P. Thiruvenkatanathan
;
J. Yan
;
J. E. Y. Lee
;
A. A. Seshia
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Mode localization;
Resonator;
Electrical coupling;
Parametric sensitivity;
60.
SIMULATION AND OPTIMIZATION OF TRANSPORT IN A LINEAR BROWNIAN MOTOR
机译:
线性布朗电机运输的仿真与优化
作者:
B. C. Trzynadlowski
;
S. Volz
;
S. T. Dunham
;
E. Altintas
;
H. Fujita
;
K. F. Bohringer
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Brownian motor;
Nanoscale transport;
Dielectrophoresis;
Simulation;
61.
ASSEMBLY-FREE 3-D MICROFABRICATION PROCESS USING SINGLE-MASK MULTIDIRECTIONAL PHOTOLITHOGRAPHY
机译:
使用单掩模多向光刻无序的3-D微型微型制备工艺
作者:
T. Suzuki
;
H. Yamamoto
;
I. Kanno
;
M. Washizu
;
H. Kotera
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Photolithography;
Assembly;
Microchannel;
62.
MECHANICAL DEGRADATION MECHANISM OF ALUMINUM-ALLOY STRUCTURAL FILMS EVALUATED BY ENVIRONMENT-CONTROLLED TENSILE TESTING
机译:
通过环境控制的拉伸试验评价铝合金结构膜的机械降解机理
作者:
Y. Kaibara
;
H. Fujii
;
T. Namazu
;
Y. Tomizawa
;
K. Masunishi
;
S. Inoue
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Al-alloy film;
Image analysis;
Degradation;
Creep deformation;
Tensile test;
Fatigue test;
Stress relaxation test;
63.
OPTICAL DETECTION IN MICROFLUIDICS: FROM THE SMALL TO THE LARGE
机译:
微流体中的光学检测:从小到大
作者:
A. J. deMello
;
P. M. W. French
;
M. A. A. Neil
;
J. B. Edel
;
R. K. P. Benninger
;
D. D. C. Bradley
;
T. Robinson
;
M. Srisa-art
;
O. Hofmann
;
J. C. deMello
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microfluidics;
Fluorescence lifetime imaging;
Polymer light emitting diodes;
Point-of-care diagnostics;
64.
NOVEL VOLTAGE CONTROLLED SPATIAL MODULATION METHOD FOR DIGITAL MICROSHUTTER DISPLAY WITH HIGH PERFORMANCE
机译:
具有高性能数字微型恒峰显示的新型电压控制空间调制方法
作者:
K. H. Lee
;
D. H. Kim
;
J. H. Chang
;
J. B. Yoon
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Digital microshutter;
Spatial modulation;
Voltage distribution through floating electrode;
Hysteresis of electrostatic actuation;
65.
A TUNABLE RANGE/SENSITIVITY CMOS-MEMS CAPACITIVE TACTILE SENSOR WITH POLYMER FILL-IN TECHNIQUE
机译:
可调谐范围/灵敏度CMOS-MEMS电容性触觉传感器,具有聚合物填充技术
作者:
Yu-Chia Liu
;
Chih-Ming Sun
;
Li-Yuan Lin
;
Ming-Han Tsai
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
CMOS-MEMS;
Tunable tactile sensor;
Polymer fill-in;
66.
CHEMICALLY ACTUATED MICROINJECTORS AND PROGRAMMING WITH A MICROFLUIDIC NETWORK
机译:
用微流体网络进行化学启动的微注射器和编程
作者:
A. Takashima
;
J. Fukuda
;
H. Suzuki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Micropump;
Flow channel;
Hydrogen peroxide;
Capillary action;
Programming;
67.
FABRICATION OF 3-DIMENSIONAL SILICON MICROELECTRODE ARRAYS USING MICRO ELECTRO DISCHARGE MACHINING FOR NEURAL APPLICATIONS
机译:
用微电路电加工制造三维硅微电极阵列进行神经应用
作者:
P. Tathireddy
;
D. Rakwal
;
E. Bamberg
;
F. Solzbacher
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microelectrode array;
Wire electrical discharge machining;
Silicon bulk machining;
Utah array;
Neural array;
Brain-machine interface;
68.
TEMPERATURE THRESHOLD TUNING OF A THERMAL HARVESTING SWITCH
机译:
热收集开关的温度阈值调谐
作者:
L. Carlioz
;
J. Delamare
;
S. Basrour
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy scavenging/harvesting;
Power generation;
Temporal temperature variation;
Magneto-piezo hybridization;
Autonomous devices;
69.
NOVEL EXTENSION METHODS OF THE SENSING PRESSURE RANGE OF THE PIRANI VACUUM SENSOR
机译:
Pirani真空传感器传感压力范围的新型扩展方法
作者:
N. Takashima
;
M. Kimura
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Vacuum sensor;
Temperature sensor;
Thermocouple;
Cantilever;
SOI;
Heater;
Vibration;
Pirani;
70.
ULTRA-THIN SUPER HIGH FREQUENCY TWO-PORT ALN CONTOUR-MODE RESONATORS AND FILTERS
机译:
超薄超高频双端口ALN轮廓模式谐振器和过滤器
作者:
M. Rinaldi
;
C. Zuniga
;
C. Zuo
;
G. Piazza
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Resonators;
MEMS filters;
Contour-mode resonators;
Aluminum nitride (AlN) film;
Super High Frequency;
71.
HIGH-GF PLANAR ALUMINIUM-SILICON HYBRID STRAIN TRANSDUCERS
机译:
高GF平面铝 - 硅混合应变换能器
作者:
A. C. H. Rowe
;
Ch. Renner
;
S. Arscott
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Silicon;
Strain gauge;
Piezoresistance;
Gauge factor;
Hybrid device;
Nano/microelectromechanical systems;
72.
CANTILEVER SENSORS EQUIPPED WITH NANO SENSING EFFECTS FOR ULTRA-SENSITIVE DETECTION OF BIO/CHEMICAL MOLECULES
机译:
悬臂传感器配备纳米传感效果,用于对生物/化学分子的超敏检测
作者:
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Microelectromechanical systems;
Integrated micro-cantilever sensors;
Nano effects;
Ultra sensitivity;
Trace bio/chemical detection;
73.
NON-RESONANT BI-STABLE FREQUENCY-INCREASED POWER SCAVENGER FROM LOW-FREQUENCY AMBIENT VIBRATION
机译:
来自低频环境振动的非谐振双稳态频率增加的功率清除剂
作者:
T. Galchev
;
H. Kim
;
K. Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy scavenging;
Energy harvesting;
Inertial;
Power source;
Power generator;
Frequency up-conversion;
74.
DEVELOPMENT AND EVALUATION OF AUSI EUTECTIC WAFER BONDING
机译:
Ausi共晶晶圆键合的开发与评价
作者:
Y. C. Lin
;
M. Baum
;
M. Haubold
;
J. Fromel
;
M. Wiemer
;
T. Gessner
;
M. Esashi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
AuSi eutectic;
Integration technology;
Wafer level bonding;
75.
A NEW TECHNIQUE TO CONSTRUCT THE MICRO AND NANO FLUIDIC SYSTEM USING A SINGLE WALL CARBON NANOTUBE
机译:
一种使用单壁碳纳米管构建微型和纳米流体系统的新技术
作者:
Jonghyun Oh
;
Gyuman Kim
;
Hongseok (Moses) Noh
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Single wall carbon nanotube (SWCNT);
Nanofluidics;
Nanochannel;
Dielectrophoresis;
PDMS microchannel;
76.
SIMULTANEOUS AND WIRELESS MEASUREMENT OF CO_2 AND NO_2 USING A SAW REFLECTIVE DELAY LINE
机译:
使用SAW反射延迟线同时和无线测量CO_2和NO_2
作者:
Chunbae Lim
;
Sangsik Yang
;
Keekeun Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Batteryless;
CO_2;
Multi-gas sensor;
NO_2;
Reflective delay line;
SAW (surface acoustic wave);
Wireless;
77.
AN INTELLIGENT WIND SENSOR SYSTEM WITH AUTO-ZERO FUNCTION
机译:
具有自动零功能的智能风传感器系统
作者:
G. P. Shen
;
M. Qin
;
Z. Q. Dong
;
Q. A. Huang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Wind sensor;
Direct chip attach packaging;
Thermal feedback;
Intelligent instrument;
78.
COUPLING OF QUANTUM STATES WITH MECHANICAL HETEROSTRUCTURES
机译:
用机械异质结构的量子态耦合
作者:
J. D. Makowski
;
B. D. Anderson
;
W. S. Chan
;
M. J. Saarinen
;
C. J. Palmstrom
;
J. J. Talghader
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Photoluminescence;
Quantum coupling;
Bandgap tuning;
Cantilever;
Heterostructures;
79.
A MEMS SENSOR FOR MEAN SHEAR STRESS MEASUREMENTS IN HIGH-SPEED TURBULENT FLOWS WITH BACKSIDE INTERCONNECTS
机译:
具有背面互连的高速湍流流动的平均剪切应力测量的MEMS传感器
作者:
A. OGrady
;
R. Larger
;
N. Tiliakos
;
G. Papadopoulos
;
V. Modi
;
L. G. Frechette
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Shear Stress;
Turbulence;
MEMS;
Capacitive Sensing;
Skin Friction;
Through Silicon Vias (TSV);
80.
CM-SCALE AIR TURBINE AND GENERATOR FOR ENERGY HARVESTING FROM LOW-SPEED FLOWS
机译:
CM级空气涡轮机和发电机,用于从低速流量收集
作者:
A. Bansal
;
D. A. Howey
;
A. S. Holmes
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy harvesting;
Air turbine;
Axial flux generator;
81.
FREQUENCY-SELECTABLE WIRELESS ACTUATION OF HYDROGEL USING MICROMACHINED RESONANT HEATERS TOWARD IMPLANTABLE DRUG DELIVERY APPLICATIONS
机译:
使用微机械谐振加热器对可植入药物递送应用的频率可选择的无线致动
作者:
E. H. Sarraf
;
G. K. Wong
;
K. Takahata
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Hydrogel;
Actuation;
Wireless;
Resonance;
Drug delivery;
82.
FIBER-OPTICAL ACOUSTIC SENSOR BASED ON A PHOTONIC-CRYSTAL DIAPHRAGM
机译:
基于光子晶振隔膜的光纤声学传感器
作者:
O. Kilic
;
M. J. F. Digonnet
;
G. S. Kino
;
O. Solgaard
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Fiber-optic sensor;
Acoustic sensor;
Fabry-Perot;
Photonic-crystal mirror;
83.
A MICROMACHINED SUSPENDED PLATE VISCOSITY SENSOR FEATURING IN-PLANE VIBRATIONS AND INTEGRATED PIEZORESISTIVE READOUT
机译:
微机械悬浮板粘度传感器,具有面内振动和集成压阻读数
作者:
C. Riesch
;
E. K. Reichel
;
A. Jachimowicz
;
J. Schalko
;
B. Jakoby
;
F. Keplinger
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Viscosity;
Density;
Suspended plate;
MEMS;
In-plane vibration;
84.
2-DIMENSIONAL POTASSIUM ION IMAGE SENSOR AIMING FOR LABEL-FREE DYNAMIC IMAGING OF LIVING-CELL ACTIVITY
机译:
二维钾离子图像传感器,旨在用于无标签的生活细胞活动动态成像
作者:
K. Atsumi
;
Y. Masaki
;
T. Noda
;
T. Hattori
;
H. Takao
;
M. Ishida
;
K. Sawada
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Image sensor;
Potassium ion;
Responsive membrane;
85.
PRECISE DOSAGE SYSTEM FOR CONTROLLED LIQUID DELIVERY BASED ON FAST MEMS BASED FLOW SENSOR
机译:
基于快速MEMS的流量传感器的受控液体输送精确剂量系统
作者:
M. Goetz
;
S. Messner
;
M. Ashauer
;
R. Zengerle
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Pump;
Valve;
Flow sensor;
Dosing system;
Metering;
86.
RAPID PROTOTYPING OF MICRO-DIRECT METHANOL FUEL CELL IN PDMS WITH MICROCHANNEL-INTEGRATED NAFION STRIP
机译:
微通道综合Nafion条带上PDMS中微直接甲醇燃料电池的快速原型
作者:
M. Shen
;
S. Walter
;
M. A. M. Gijs
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Direct methanol fuel cell;
Nafion strip;
Microchannel;
PDMS chip;
Guiding channel;
87.
RAPID DIELECTROPHORESIS ASSEMBLY OF SINGLE CARBON NANOCOIL ON AN AFM PROBE TIP
机译:
AFM探针尖端单碳纳米液的快速介电泳组装
作者:
M. D. Wu
;
Y. L. Hsieh
;
Y. C. Tsai
;
Y. J. Chen
;
W. P. Shih
;
S. H. Chang
;
P. Z. Chang
;
J. T. Huang
;
L. J. Yang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Nanocoil;
Dielectrophoresis assembly;
Atomic force microscope;
88.
A NANOPLASMONIC SWITCH BASED ON MOLECULAR MACHINES
机译:
基于分子机的纳米升性开关
作者:
Yue Bing Zheng
;
Ying-Wei Yang
;
Lasse Jensen
;
Lei Fang
;
Bala Krishna Juluri
;
Paul S. Weiss
;
J. Fraser Stoddart
;
Tony Jun Huang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Molecular active plasmonics;
Molecular machines;
Rotaxanes;
Au nanodisks;
Surface plasmon resonances;
Nanoplasmonic switch;
Nanophotonic integrated circuits;
Time-dependent density functional theory;
89.
HERMETIC THIN FILM ENCAPSULATION OF MECHANICAL TRANSDUCERS FOR SMART LABEL APPLICATIONS
机译:
用于智能标签应用的机械换能器的密封薄膜封装
作者:
D. Reuter
;
M. Nowack
;
M. Rennau
;
A. Bertz
;
M. Wiemer
;
F. Kriebel
;
T. Gessner
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Wafer-level packaging;
Thin film encapsulation;
CF-polymer;
2f-method;
Hermeticity test;
90.
MEASURING THE MECHANICAL RESONANCE FREQUENCY AND QUALITY FACTOR OF MEM RESONATORS WITH WELL-DEFINED UNCERTAINTIES USING OPTICAL INTERFEROMETRIC TECHNIQUES
机译:
使用光学干涉技术具有明确的不确定性,测量MEM谐振器的机械谐振频率和质量因子
作者:
S. Stoffels
;
S. Boedecker
;
R. Puers
;
I. De Wolf
;
H. A. C. Tilmans
;
C. Rembe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Ultra-high frequencies;
Heterodyne interferometry;
RF-MEM resonators;
Laser-Doppler vibrometry;
91.
BIOSENSOR FOR CALCIUM BASED ON A HYDROGEL OPTICAL WAVEGUIDE WITH INTEGRATED SENSOR PROTEINS
机译:
基于水凝胶光波导的钙生物传感器,具有集成传感器蛋白
作者:
Thilo Forster
;
Christof Strohhofer
;
Karlheinz Bock
;
Peter Kasak
;
Martin Danko
;
Zuzana Kronekova
;
Tomas Nedelcev
;
Igor Krupa
;
Igor Lacik
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Hydrogel;
Waveguide;
Biosensor;
FRET;
92.
DESIGN AND IMPLEMENTATION OF LIQUID DROPLET BASED MOTION SENSING
机译:
基于液滴运动传感的设计与实现
作者:
H. Zeng
;
Y. Zhao
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Motion sensing;
Droplet dynamics;
Frequency response;
Biocompatibility;
93.
A MICRO GAS CHROMATOGRAPH FOR HIGH-SPEED DETERMINATIONS OF EXPLOSIVE VAPORS
机译:
一种微气相色谱仪,用于爆炸性蒸汽的高速测定
作者:
G. Serrano
;
H. Chang
;
E. T. Zellers
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Gas chromatography;
Micro GC;
Microcolumns;
Explosive;
Chemiresistor;
94.
MICROCANTILEVER SENSOR USING PHOTONIC CRYSTAL NANOCAVITY RESONATOR
机译:
微电机传感器使用光子晶体纳米振荡器谐振器
作者:
Wenfeng Xiang
;
Fu-Li Hsiao
;
Chengkuo Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Photonic Crystal;
NEMS;
Nanomechanical Sensors;
95.
PARYLENE BACKGROUND FLUORESCENCE STUDY FOR BIOMEMS APPLICATIONS
机译:
Parylene背景荧光研究生物莫莫姆斯应用
作者:
Bo Lu
;
Siyang Zheng
;
Yu-Chong Tai
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Parylene-C;
Parylene-HT;
Background fluorescence;
96.
FILM BULK ACOUSTIC-WAVE RESONATOR (FBAR) BASED ULTRAVIOLET SENSOR
机译:
基于胶片散射声波谐振器(FBAR)的紫外线传感器
作者:
X. Qiu
;
J. Zhu
;
J. Oiler
;
C. Yu
;
Z. Wang
;
H. Yu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
FBAR;
UV sensor;
ZnO;
Frequency upshift;
97.
HIGH Q CMOS-MEMS RESONATORS AND ITS APPLICATIONS AS RF TUNABLE BAND-PASS FILTERS
机译:
高Q CMOS-MEMS谐振器及其应用作为RF可调带通滤波器
作者:
J. L. Lopez
;
J. Verd
;
J. Giner
;
A. Uranga
;
G. Murillo
;
E. Marigo
;
F. Torres
;
G. Abadal
;
N. Barnio
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
CMOS-MEMS;
RF-MEMS;
High-Q resonators;
Band-pass filter;
HF-filters;
98.
INTEGRATED PHOTONIC MEMS CHEMICAL SENSORS
机译:
集成光子MEMS化学传感器
作者:
M. W. Pruessner
;
T. H. Stievater
;
W. S. Rabinovich
;
J. L. Stepnowski
;
R. A. McGill
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Chemical sensor;
Integrated optical waveguides;
Fabry-Perot microcavity;
Silicon-on-insulator (SOI);
99.
MAGNETIC PARTICLE DOSING, RELEASE AND SEPARATION IN A MICROFLUIDIC CHIP WITH MAGNETIC ACTUATION
机译:
磁性颗粒剂量,磁性颗粒在微流体芯片中的释放和分离,具有磁性致动
作者:
R. Afshar
;
T. Lehnert
;
Y. Moser
;
M. A. M. Gijs
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Magnetic separation;
Magnetophoresis;
Microfluidics;
100.
PREVENTING CARDIOMYOCYTES FROM TNF-α-INDUCED CELL DEATH BASED ON THE IMPEDANCE-SENSING TECHNIQUE FOR REAL-TIME MONITORING CELL ADHESION
机译:
基于防止感测技术预防TNF-α诱导的细胞死亡的心肌细胞,用于实时监测细胞粘附
作者:
Y. Qiu
;
R. Liao
;
X. Zhang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Cardiomyocyte;
Cell death;
Impedance-sensing;
Cell adhesion;
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