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International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
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1.
BIOCOMPATIBLE AlN-BASED PIEZO ENERGY HARVESTERS FOR IMPLANTS
机译:
用于植入物的生物相容性Aln的压电能量收割机
作者:
N. Heidrich
;
F. Knobber
;
R. E. Sah
;
W. Pletschen
;
S. Hampl
;
V. Cimalla
;
V. Lebedev
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
AlN;
Stress;
Piezoelectric energy harvesting;
2.
AN APODIZED SURFACE GRATING COUPLER ENABLING THE FABRICATION OF SILICON PHOTONIC NANOWIRE SENSOR CIRCUITS IN ONE LITHOGRAPHY STEP
机译:
一种抛光表面光栅耦合器,使得在一个光刻步骤中能够制造硅光子纳米线传感器电路
作者:
K. B. Gylfason
;
M. Antelius
;
H. Sohlstrom
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Apodized grating coupler;
Silicon photonics;
Photonic nanowire sensor;
3.
BIONANO CRYSTALLIZED POLY-SI FILM FOR INCREASING TENSILE STRESS IN MEMS/NEMS DEVICE STRUCTURES
机译:
Bionano结晶多Si膜,用于增加MEMS / NEMS器件结构中的拉伸应力
作者:
S. Kumagai
;
S. Miyachi
;
I. Yamashita
;
Y. Uraoka
;
M. Sasaki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Meal-induced lateral crystallization;
Crystallization-induced stress;
Nanoparticles;
Ferritin;
4.
QUALITY FACTOR ENHANCEMENT IN LAMB WAVE RESONATORS UTILIZING AlN PLATES WITH CONVEX EDGES
机译:
利用凸边的兰姆波谐振器中的质量因子增强
作者:
Chih-Ming Lin
;
Yun-Ju Lai
;
Ting-Ta Yen
;
Jin-Chen Hsu
;
Yung-Yu Chen
;
Debbie G. Senesky
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Lamb wave resonators;
Quality factor (Q);
Aluminum nitride (AlN);
Convex edges;
Energy loss;
Tether loss;
Piezoelectric resonators;
RF MEMS;
5.
DELIVERY OF AN ANTI-CANCER DRUG FROM A MAGNETICALLY CONTROLLED MEMS DEVICE SHOW CYTOTOXICITY IN PC3 AND HUVEC CELLS
机译:
从磁控MEMS器件中递送抗癌药物显示PC3和HUVEC细胞中的细胞毒性
作者:
F. N. Pirmoradi
;
J. Jackson
;
H. Burt
;
M. Chiao
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS;
Active drug release;
On-demand;
Controlled drug delivery;
Magnetic actuation;
Docetaxel;
6.
CORTICAL BLOOD FLOW IMAGING WITH A PORTABLE MEMS BASED 2-PHOTON FLUORESCENCE MICROENDOSCOPE
机译:
用便携式MEMS的基于2-光子荧光微内窥镜的皮质血流成像
作者:
W. Piyawattanametha
;
O. Solgaard
;
M. J. Schnitzer
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Neuroscience;
Scanner;
2-photon;
MEMS;
Fluorescence;
7.
PIEZOELECTRIC PDMS FILMS FOR POWER MEMS
机译:
电力MEMS的压电PDMS薄膜
作者:
J. J. Wang
;
J. M. Hsieh
;
R. W. Tsai
;
Y. C. Su
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Micro Plasma Discharge;
Cellular Polymer;
Energy Harvesting;
Piezoelectric Material;
8.
GATE-ALL-ARROUND SINGLE-CRYSTALLINE SILICON NANOWIRE OPTICAL SENSOR
机译:
门 - 全绕单晶硅纳米线光学传感器
作者:
M. Ziaei-Moayyed
;
B. Draper
;
M. Okandan
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Silicon nanowire;
Gate-all-around nanowire FET;
Photodetector;
P-i-n photodiode;
Optical sensor;
9.
A WAFER-LEVEL, HETEROGENEOUSLY INTEGRATED, HIGH FLOW SMA-SILICON GAS MICROVALVE
机译:
晶圆级,异巧的地集成,高流量的SMA-硅气体微型阀
作者:
H. Gradin
;
S. Braun
;
G. Stemme
;
W. van der Wijngaart
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microvalve;
Shape memory alloy;
SMA;
TiNi;
Eutectic bonding;
Wafer bonding;
Heterogeneous integration;
10.
ENERGY HARVESTING FROM A ROTATING GEAR USING AN IMPACT TYPE PIEZOELECTRIC MEMS SCAVENGER
机译:
使用冲击式压电MEMS清除剂从旋转齿轮收集能量
作者:
P. Janphuang
;
D. Isarakorn
;
D. Briand
;
N. F. de Rooij
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Impact energy harvesting;
Piezoelectric;
MEMS;
Rotating gear;
PZT;
11.
A WAFER-LEVEL POLY-SIGE-BASED THIN FILM PACKAGING TECHNOLOGY DEMONSTRATED ON A SOI-BASED HIGH-Q MEM RESONATOR
机译:
基于SOI的高Q MEM谐振器证明了基于晶片级的Poly-SiGe薄膜包装技术
作者:
Ph. Helin
;
A. Verbist
;
J. De Coster
;
B. Guo
;
S. Severi
;
A. Witvrouw
;
L. Haspeslagh
;
H. A. C. Tilmans
;
Y. Naito
;
K. Nakamura
;
K. Onishi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
O-level thin film package;
Poly-SiGe;
MEM resonator;
Reliabity testing;
CMOS-MEMS;
12.
NANOELECTROMECHANICAL SWITCHES BASED ON DIAMOND-ON-DIAMOND
机译:
基于钻石钻石的纳米机电开关
作者:
M. Y. Liao
;
S. Hishita
;
Y. Koide
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
NEMS switch;
Single crystal diamond;
Nanofabrication;
13.
ELECTRICAL INSULATION OF CARBON NANOTUBE SEPARATION COLUMNS FOR MICROCHIP ELECTROCHROMATOGRAPHY
机译:
微芯片电粒度碳纳米管分离柱的电绝缘
作者:
K. B. Mogensen
;
M. Chen
;
K. Molhave
;
P. Boggild
;
J. P. Kutter
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microfluidics;
Carbon nanotubes;
Chromatography;
Electrosmotic flow;
14.
MULTIFUNCTIONAL OPTICAL MEMS SENSOR PLATFORM FOR WIRELESS OPTICAL SENSOR NETWORKS
机译:
无线光学传感器网络多功能光学MEMS传感器平台
作者:
C. Pang
;
M. Yu
;
X. M. Zhang
;
A. K. Gupta
;
K. M. Bryden
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Optical integration;
Wireless sensor network;
Optical sensors;
Low coherence interferometry;
15.
AN SOI THERMAL-DIFFUSIVITY-BASED TEMPERATURE SENSOR WITH ±0.6°C (3Σ) UNTRIMMED INACCURACY FROM -70°C TO 170°C
机译:
基于SOI热扩散性的温度传感器,±0.6°C(3σ)从-70°C为170°C未经监测的不准确性
作者:
C. P. L. van Vroonhoven
;
K. A. A. Makinwa
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Temperature Sensors;
Thermal Diffusivity;
Heat diffusion;
Smart Sensors;
16.
NEGATIVE-PHOTORESIST MECHANICAL PROPERTY FOR NANO-FILTRATION MEMBRANE EMBEDDED IN MICROFLUIDICS
机译:
微流体中嵌入纳米过滤膜的负光致抗蚀剂力学性能
作者:
Y. Hirai
;
A. Uesugi
;
Y. Makino
;
H. Yagyu
;
K. Sugano
;
T. Tsuchiya
;
O. Tabata
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
3D UV photolithography;
Microfluidics;
Membrane;
Nanoindentation;
Mechanical property;
17.
SUBPIXEL TRANSLATION OF MEMS MEASURED BY DISCRETE FOURIER TRANSFORM ANALYSIS OF CCD IMAGES
机译:
CCD图像离散傅立叶变换分析测量MEMS的亚像素平移
作者:
C. Yamahata
;
E. Sarajlic
;
M. Stranczl
;
G. J. M. Krijnen
;
M. A. M. Gijs
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Optical measurement;
Subpixel resolution;
Discrete Fourier transform;
Phase-shift measurement;
18.
A SELF-SUSTAINING PYROELECTRIC ENERGY HARVESTER UTILIZING SPATIAL THERMAL GRADIENTS
机译:
利用空间热梯度的自我维持热电能量收割机
作者:
S. K. T. Ravindran
;
T. Huesgen
;
M. Kroener
;
P. Woias
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Thermal energy harvesting;
Pyroelectric generator;
Micro heat engine;
Thermoelectric generator;
19.
INCORPORATION OF POLYMER REFRACTIVE MICROLENS ARRAY FOR EFFICIENCY IMPROVEMENT OF CUINS_2 QUANTUM DOT-BASED HYBRID PHOTOVOLTAIC CELLS
机译:
聚合物折射微透镜阵列的掺入Cuins_2量子点混合光伏电池的效率改进
作者:
M. Nam
;
J. Park
;
S. Kim
;
K. Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Photovoltaic cells;
Hybrid composites;
CuInS_2 quantum dot;
Polymer refractive microlens array;
P3HT;
PCBM;
20.
ULTRA-HIGH PRECISION MEMS ACCELEROMETER
机译:
超高精度MEMS加速度计
作者:
Y. Dong
;
P. Zwahlen
;
A. M. Nguyen
;
R. Frosio
;
F. Rudolf
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Accelerometer;
Inertial navigation system;
Long term bias stability;
MEMS;
21.
IMPLEMENTATION OF INDUCTIVE PROXIMITY SENSOR USING NANOPOROUS ANODIC ALUMINUM OXIDE LAYER
机译:
使用纳米多孔阳极氧化铝层的电感接近传感器的实现
作者:
Pei-Hsuan Lo
;
Chitsung Hong
;
Sung-Cheng Lo
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Anodic aluminum oxide (AAO);
Inductive sensor;
Proximity sensor;
22.
A PARYLENE-BASED FLEXIBLE ELECTROPORATION CHIP APPLICABLE FOR IN VIVO GENE AND SIRNA DELIVERY
机译:
基于聚对基的柔性电穿孔芯片适用于体内基因和siRNA递送
作者:
Zewen Wei
;
Yuanyu Huang
;
Deyao Zhao
;
Zicai Liang
;
Zhihong Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Electroporation;
Parylene;
Flexible;
In vivo nucleic acid delivery;
23.
OXYGEN PLASMA FUNCTIONALIZED PEDOT/PSS-SWCNTS THIN FILM DEPOSITED BY ELECTROPHORESIS FOR GAS SENSING
机译:
氧等离子体官能化PEDOT / PSS-SWCNTS通过电泳沉积的气体感应沉积
作者:
J. M. Jian
;
X. S. Guo
;
Q. Cai
;
L. W. Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
PEDOT/PSS;
SWCNTs;
Oxygen plasma treatment;
AC-DEP assembly;
24.
ELECTROSTATICALLY-DRIVEN ACTIVE SPACE RADIATOR USING NEAR-FIELD THERMAL RADIATION
机译:
使用近场热辐射的静电驱动的主动空间散热器
作者:
Ai Ueno
;
Yuji Suzuki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Near-field effect;
Thermal radiation;
Active radiation control;
Electrostatic actuator;
25.
CARBON NANOTUBES-INTEGRATED INERTIAL SWITCH FOR RELIABLE DETECTION OF THRESHOLD ACCELERATION
机译:
碳纳米管集成的惯性开关可靠地检测阈值加速度
作者:
J. I. Lee
;
Y. Song
;
H. K. Jung
;
J. Choi
;
Y. Eun
;
J. Kim
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Inertial micro-switch;
Carbon nanotube (CNT);
Extended contact time;
Mechanical buffer;
26.
SENSITIVITY LINEARIZATION TECHNIQUE FOR A TIME BASED MEMS ACCELEROMETER
机译:
基于时间的MEMS加速度计的灵敏度线性化技术
作者:
R. A. Dias
;
R. F. Wolffenbuttel
;
E. Cretu
;
L. A. Rocha
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Pull-in time;
μg-resolution;
High sensitivity;
MEMS accelerometer;
27.
LAYER-BY-LAYER DEPOSITION OF COLLOIDAL SEMICONDUCTOR NANOCRYSTALS FOR INTEGRATION OF INFRARED PHOTON-DETECTORS ON 3D TOPOGRAPHY
机译:
胶体半导体纳米晶体层的逐层沉积,用于集成红外光子探测器对3D形貌
作者:
J. Wei
;
Y. Gao
;
A. J. Houtepen
;
G. Pandraud
;
P. M. Sarro
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Colloidal nanocrystal;
Layer-by-layer;
Infrared detection;
28.
DIAGNOSTIC OF MICROPLASMA REACTOR FOR SCANNING PLASMA ETCHING
机译:
用于扫描等离子体蚀刻的显微膜反应器的诊断
作者:
H. Wang
;
Y. H. Tong
;
L. Wen
;
Z. Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microplasma Reactor;
Scanning Plasma Etching;
V-I curve;
Optical Emission Spectrum;
29.
A MEDICAL TACTILE SENSOR FOR MEASURING TISSUE HARDNESS IN ROBOTIC SURGICAL TOOLS
机译:
用于测量机器人外科手术工具组织硬度的医学触觉传感器
作者:
Shenshen Zhao
;
David Parks
;
Chang Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Hardness;
Tactile sensor;
Minimal invasive surgery;
Robotic surgery;
30.
HEATED MEMBRANES PREVENT CLOGGING OF APERTURES IN NANOSTENCIL LITHOGRAPHY
机译:
加热膜防止纳米纸张光刻中的孔堵塞
作者:
S. Q. Xie
;
V. Savu
;
J. Brugger
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Stencil lithography;
Clogging;
Microhotplate;
Heated membranes;
Embedded electrodes;
31.
'BOTTOM-UP' THREE-DIMENSIONAL METAMATERIALS AT TERAHERTZ FREQUENCIES
机译:
太赫兹频率的“自下而上”三维超材料
作者:
Kebin Fan
;
Andrew C. Strikwerda
;
Richard D. Averitt
;
Xin Zhang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Metamaterials;
Terahertz;
3D structures;
Multilayer electroplating;
32.
ELECTROLUMINESCENCE FROM A FREESTANDING INTEGRATABLE SINGLE ZnO DOT
机译:
来自独立Integratable单个ZnO点的电致发光
作者:
Cheng Jiang
;
Norimasa Yoshimizu
;
Jun Hyun Han
;
Amit Lal
;
Chung Hoon Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
ZnO;
Single Dot;
LED;
Electroluminescence;
33.
IR THERMOCYCLER FOR CENTRIFUGAL MICROFLUIDIC PLATFORM WITH DIRECT ON-DISK WIRELESS TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM
机译:
用于离心微流体平台的IR热循环平台,直接磁盘无线温度测量系统
作者:
J. Burger
;
Andre Gross
;
Daniel Mark
;
Felix von Stetten
;
Roland Zengerle
;
Gunter Roth
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Lab-on-a-Chip (LoaC);
Centrifugal microfluidics;
Polymerase Chain Reaction (PCR);
Immunoassay;
Thermocycling;
Wireless temperature measurement;
34.
ENGINEERING OF ACOUSTIC METAMATERIALS WITH APPLICATION TO MEMS BAW RESONATORS
机译:
应用于MEMS BAW谐振器的声学超材料的工程
作者:
X. Rottenberg
;
R. Jansen
;
P. Verheyen
;
R. Van Hoof
;
A. Verbist
;
H. A. C. Tilmans
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS;
Metamaterials;
BAW;
Acoustic;
Resonator;
35.
DESIGN AND MICROFABRICATION OF INTEGRATED MAGNETIC MEMS ENERGY HARVESTER FOR LOW FREQUENCY APPLICATION
机译:
集成磁性MEMS能量收割机的设计和微生物用于低频应用
作者:
Quan Yuan
;
Xuming Sun
;
Dong-Ming Fang
;
Haixia Zhang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Energy Harvester;
Magnetic MEMS;
Low Frequency;
CoNiMnP;
Electrodeposition;
36.
3D LOBULE-MIMETIC CHIP VIA POSITIVE DIELECTROPHORESIS FORCE WITH SINUSOIDAL SPACING POLY (ETHYLENE GLYCOL)-DIACRYLATE MICROWALLS
机译:
3D通过正电泳芯片通过正介电泳力,具有正弦间距聚(乙二醇) - 二氧化丙烯酸酯微井
作者:
Yu-Shih Chen
;
Ling-Yi Ke
;
Cheng-Hsien Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
3D cell patterning;
Lobule-mimetic chip;
Hydrogel;
Dielectrophoresis;
37.
A NANO-OPTO-MECHANICAL PRESSURE SENSOR
机译:
纳米光电压力传感器
作者:
X. Zhao
;
J. M. Tsai
;
H. Cai
;
X. M. Ji
;
J. Zhou
;
M. H. Bao
;
Y. P. Huang
;
D. L. Kwang
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nano-opto-mechanical systems (NOMS);
Optical force;
Ring resonator;
38.
ELASTOMERIC CAPACITIVE SENSORS
机译:
弹性体电容传感器
作者:
S. P. Lacour
;
D. P. J. Cotton
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Silicone rubber;
Thin gold film;
Capacitive sensors;
Stretchable sensors;
39.
CONFORMAL COATING OF POLY(GLYCIDYL METHACRYLATE) AS A LITHOGRAPHIC POLYMER BY INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
机译:
通过引发的化学气相沉积作为光刻聚合物的聚(甲基丙烯酸缩水甘油酯)的共形涂层
作者:
S. Yoshida
;
T. Kobayashi
;
M. Kumano
;
M. Esashi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Initiated chemical vapor deposition;
Resist coating technology;
Conformal coating;
Poly-glycidyl methacrylate;
40.
MICROFLUIDIC SURFACE-ENHANCED RAMAN SCATTERING SENSORS FOR ONLINE MONITORING TRACE CHEMICAL MIXING AND REACTION
机译:
微流体表面增强拉曼散射传感器,用于在线监测痕量化学混合和反应
作者:
H. Y. Mao
;
P. P. Lv
;
W. G. Wu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microfluidic surface-enhanced Raman scattering sensors;
Chemical mixing and reaction;
Silicon nanopillar forests;
Oxygen-plasma-treating-on-photoresist technique;
41.
MICROSYSTEMS FOR ENERGY HARVESTING
机译:
用于能量收集的微系统
作者:
K. Najafi
;
T. Galchev
;
E. E. Aktakka
;
R. L. Peterson
;
J. McCullagh
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Vibration Scavenger;
Piezoelectric;
Bonding;
Frequency Increased Generation;
Frequency Up-Conversion;
Scavenging;
Harvesting;
Power Sources;
Power Conversion;
Power Generation;
42.
SILICON/III-V MATERIAL ACTIVE LAYER HETEROINTEGRATED VERTICAL PIN WAVEGUIDE PHOTODIODE BY DIRECT BONDING
机译:
硅/ III-V材料有源层异源层通过直接粘接通过直接粘接进行垂直销波导光电二极管
作者:
Linghan Li
;
Akio Higo
;
Ryo Takigawa
;
Eiji Higurashi
;
Masakazu Sugiyama
;
Yoshiaki Nakano
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Silicon/III-V heterointegration;
Hybrid waveguide;
Vertical PIN photodiode;
Direct bonding;
43.
MICROBALL BEARING TECHNOLOGY FOR MEMS DEVICES AND INTEGRATED MICROSYSTEMS
机译:
METOBALL轴承技术,用于MEMS器件和集成的微系统
作者:
R. Ghodssi
;
B. Hanrahan
;
M. Beyaz
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microball bearing;
Tribology;
Microsystems;
44.
ELECTROTHERMALLY ACTUATED RF MEMS CAPACITIVE SWITCH WITH ATOMIC LAYER DEPOSITED (ALD) DIELECTRICS
机译:
具有原子层沉积(ALD)电介质的电热致动RF MEMS电容开关
作者:
X. J. He
;
Z. Q. Lv
;
B. Liu
;
Z. H. Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Atomic layer deposition (ALD);
Electrothermally actuation;
MEMS capacitive switch;
45.
NANO-PHOTONIC DISPLACEMENT SENSING MECHANISM
机译:
纳米光子位移传感机构
作者:
Hongbin Yu
;
Guangya Zhou
;
Xiongyue Chew
;
Sujeet K. Sinha
;
Fook Siong Chau
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Displacement sensing;
Waveguide;
46.
A FRENKEL-POOLE MODEL OF DIELECTRIC CHARGING IN CMOS MEMS
机译:
CMOS MEMS介质充电Frenkel-Poole模型
作者:
K. L. Dorsey
;
G. K. Fedder
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
CMOS MEMS;
Frenkel Poole;
Parasitic charging;
47.
ENHANCEMENT OF SENSITIVITY OF COULOMETRIC DETECTION USNG A ONE-ELECTRODE SYSTEM
机译:
使用单电极系统提高库仑检测的灵敏度
作者:
K. Ikemoto
;
K. Kojima
;
F. Sassa
;
M. Yokokawa
;
H. Suzuki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
One-electrode system;
Coulometry;
Microfluidics;
Liquid plug;
Flow channel;
48.
A VIBRATION-BASED ELECTROMAGNETIC ENERGY HARVESTER SYSTEM WITH HIGHLY EFFICIENT INTERFACE ELECTRONICS
机译:
一种基于振动的电磁能量收割机系统,具有高效接口电子产品
作者:
Arian Rahimi
;
Ozge Zorlu
;
Ali Muhtaroglu
;
Haluk Kulah
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Vibration-Based Energy Harvesting;
Boot Strap Rectification;
AC/DC Conversion Efficiency;
49.
BAROMETRIC PRESSURE CHANGE MEASUREMENT
机译:
气压变化测量
作者:
N. Minh-Dung
;
H. Takahashi
;
K. Matsumoto
;
I. Shimoyama
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Pressure sensor;
Barometric pressure;
Piezo-resistive cantilever;
Air leakage;
Open cavity;
50.
NANOBIODEVICE BASED SINGLE MOLECULE AND CELL SENSING FOR CANCER DIAGNOSIS AND IN VIVO IMAGING FOR STEM CELL THERAPY
机译:
基于纳米碘的单分子和细胞感测癌症诊断和体内成像治疗干细胞疗法
作者:
Y. Baba
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nanobiodevice;
Quantum dot;
Cancer cell;
Stem cell;
DNA;
Methylation;
Immunopillar;
51.
DIFFERENTIAL-INPUT PIEZORESISTIVELY-SENSED SQUARE-EXTENSIONAL MODE RESONATOR FOR PARASITIC FEEDTHROUGH CANCELLATION
机译:
用于寄生馈通取消的差分输入压制式广场谐振器谐振器
作者:
Y. Xu
;
J. E. Y. Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS resonator;
Feedthrough cancellation;
Passive differential drive;
Piezoresistive sensing;
52.
AN ABSORPTIVE FILTER USING MICROFLUIDIC SWITCHABLE METAMATERIALS
机译:
使用微流体可切换超材料的吸收过滤器
作者:
B. Dong
;
W. M. Zhu
;
Y. H. Fu
;
J. M. Tsai
;
H. Cai
;
D. L. Kwong
;
E. P. Li
;
E. Rius
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Metamaterials;
Microfluidics;
Filter;
Perfect absorption;
53.
DESIGN, FABRICATION, AND VACUUM PACKAGE PROCESS FOR HIGH PERFORMANCE OF 2D SCANNING MEMS MICROMIRROR
机译:
设计,制造和真空包装工艺,用于高性能的2D扫描MEMS微镜
作者:
H. M. Chu
;
T. Sasaki
;
K. Hane
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
2D MEMS micromirror;
Air damping;
Vacuum package process;
54.
HARVESTING TRAFFIC-INDUCED BRIDGE VIBRATIONS
机译:
收获交通诱导的桥梁振动
作者:
T. Galchev
;
J. McCullagh
;
R. L. Peterson
;
K. Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Parametric Frequency Increased Generator;
PFIG;
Frequency Up-Conversion;
Energy Harvesting;
Structural Health Monitoring;
55.
EFFECT OF ELECTRON-BEAM IRRADIATION ON ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF NANOWIRES IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
机译:
电子束辐射对扫描电子显微镜纳米线电学特性的影响
作者:
Y. Zhang
;
Y. Sun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Electrical characterization;
Single nanowires;
Electron microscopy;
Electron-beam irradiation;
Electromechanical characterization;
56.
THINNED-PZT ON SOI PROCESS AND DESIGN OPTIMIZATION FOR PIEZOELECTRIC INERTIAL ENERGY HARVESTING
机译:
薄型-PZT在SOI过程和压电惯性能量收割方面的设计优化
作者:
Ethem Erkan Aktakka
;
Rebecca L. Peterson
;
Khalil Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Harvesting;
Scavenging;
Power generation;
Energy;
Inertial;
Vibration;
Piezoelectric;
Bonding;
Thinning;
PZT;
57.
LOW TEMPERATURE ENCAPSULATION OF NANOCHANNELS WITH WATER INSIDE
机译:
纳米内部纳米通道的低温封装
作者:
C. Shen
;
V. R. S. S. Mokkapati
;
F. Santagata
;
A. Bossche
;
P. M. Sarro
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Low temperature;
Dry film resist;
Nanofluidic;
Encapsulation;
58.
DIAGNOSTIC DEVICE FOR COW MASTITIS BASED ON THE DETECTION OF SUPEROXIDE SECRETED FROM NEUTROPHILS
机译:
基于从中性粒细胞分泌的超氧化物检测的基于母牛乳腺炎的诊断装置
作者:
S. Kimura
;
J. Fukuda
;
H. Suzuki
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Mastitis;
Neutrophils;
Superoxide;
Electrochemical sensor;
59.
TUNABLE PHOTONIC CRYSTAL WITH 50 NANOMETER TUNING RANGE AND 100 MILLISECOND RESPONSE TIME
机译:
可调谐光子晶体,具有50纳米调谐范围和100毫秒的响应时间
作者:
C. T. Chan
;
J. A. Yeh
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Capillary action;
Porous silicon;
Surface tension;
Tunable photonic crystal;
60.
WAFER-LEVEL FABRICATION OF NANOSCALE PATTERNED SAPPHIRE SUBSTRATES WITH BROADBAND OPTICAL TRANSMITTANCE
机译:
纳米级纳米级图案蓝宝石基板具有宽带光学透射率的制造
作者:
Yu-Sheng Lin
;
J. Andrew Yeh
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Patterned sapphire;
Broadband transmittance;
61.
NOVEL MEMS OSCILLATOR USING IN-PLANE DISK RESONATOR WITH SENSING PLATFORM AND ITS MASS SENSING CHARACTERISTICS
机译:
新型MEMS振荡器,使用具有传感平台的平面内盘谐振器及其质量传感特性
作者:
M. Konno
;
T. Ikehara
;
S. Murakami
;
R. Maeda
;
M. Kimura
;
T. Fukawa
;
T. Mihara
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Annular disk resonator;
Sensing platform;
MEMS Oscillator;
Mass sensing;
Motional impedance;
62.
SINGLE CHIP NANOTUBE SENSORS FOR CHEMICAL AGENT MONITORING
机译:
用于化学试剂监测的单芯片纳米管传感器
作者:
Y. Liu
;
C. L. Chen
;
V. Agarwal
;
S. Sonkusale
;
M. L. Wang
;
M. R. Dokmeci
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
SWNT sensors;
CMOS circuitry;
Dielectrophoretic (DEP) assembly;
Chemical agent monitoring;
Single-stranded DNA (ss-DNA);
DMMP;
DNT sensing;
63.
HOLLOW CORE MOEMS BRAGG GRATING MICROPHONE FOR DISTRIBUTED AND REMOTE SENSING
机译:
空心核心MOEMS布拉格光栅麦克风用于分布式和遥感
作者:
K. Reck
;
C. Ostergaard
;
E. V. Thomsen
;
O. Hansen
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Optical sensing;
Frequency modulation;
Bragg grating;
Microphone;
64.
A DESIGN OF LONGITUDINALLY-DIVIDED BALLOON STRUCTURE IN PDMS PNEUMATIC BALLOON ACTUATOR BASED ON FEM SIMULATIONS
机译:
基于有限元模拟的PDMS气动气球执行器中纵向分割气囊结构的设计
作者:
K. Morimoto
;
A. Utsumi
;
S. Konishi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Pneumatic Balloon Actuator;
PDMS;
FEM;
Bending Motion;
65.
INDUCTIVELY COUPLED WIREBONDED MICROCOILS FOR WIRELESS ON-CHIP NMR
机译:
无线上芯片NMR的电感耦合线路粘土微膜
作者:
V. Badilita
;
B. Fassbender
;
O. Gruschke
;
K. Kratt
;
R. Meier
;
D. Sakellariou
;
J. G. Korvink
;
U. Wallrabe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microcoils;
Inductive coupling;
On-chip NMR;
66.
CARBON NANOTUBE BASED MULTI-SPECTRUM INFRARED DETECTOR ARRAY
机译:
基于碳纳米管的多谱红外探测器阵列
作者:
H. Chen
;
N. Xi
;
L. Chen
;
King W. C. Lai
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon Nanotube;
Infrared Detector;
Multi-Spectrum;
Readout System;
67.
HIGH-PERFORMANCE SURFACE-TENSION-DRIVEN CAPILLARY PUMPING BASED ON LAYER-BY-LAYER SELF ASSEMBLY OF TIO_2 NANOPARTICLES
机译:
基于TiO_2纳米颗粒层的逐层自组装的高性能表面张力驱动的毛细管泵送
作者:
T. Zhang
;
T. Cui
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Surface-tension-driven capillary;
Micropumping;
Layer-by-layer self-assembly;
TiO_2 nanoparticles;
68.
ON-CHIP SYNTHESIS OF SILICA NANOPARTICLE ASSEMBLIES WITH CONTROLLED SHAPE AND SIZE
机译:
具有受控形状和尺寸的二氧化硅纳米粒子组件的片上合成
作者:
J. B. Wacker
;
V. K. Parashar
;
M. A. M. Gijs
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Assembly;
Nanoparticles;
Silica;
Microfluidic droplets;
69.
PROTOZOON CLASSIFICATIONS BASED ON SIZE, SHAPE AND REFRACTIVE INDEX USING ON-CHIP IMMERSION REFRACTOMETER
机译:
采用片上浸没仪的原型,形状和折射率的原型原型分类
作者:
L. K. Chin
;
T. C. Ayi
;
P. H. Yap
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Immersion refractometer;
Protozoa;
Phase-contrast;
70.
MICROMACHINED ARRAY-TYPE MIRAU INTERFEROMETER FOR MEMS METROLOGY
机译:
用于MEMS计量的微机械阵列型Mirau干涉仪
作者:
C. Gorecki
;
S. Bargiel
;
J. Albero
;
N. Passilly
;
C. Rousselot
;
U. Zeitner
;
K. Gastinger
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS metrology;
Low-coherence interferometry;
Mirau interferometer;
Lenses;
DOE;
Beam-splitter;
Glass reflow;
71.
AN EYEBALL-LIKE BICONVEX/MENISCUS LENS OPTICAL SYSTEM WITH FLUIDIC-CONTROLLED FOCUS FOR TUNABLE LENS APPLICATIONS
机译:
一种类似的眼球Biconvex / Meniscus镜头光学系统,具有流体控制的专注于可调谐镜头应用
作者:
Guo-Hua Feng
;
Yu-Chin Chou
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Meniscus lens;
Biconvex lens;
Tunable focus;
ZEMAX;
72.
CHEMORESISTIVE NANOFIBROUS SENSOR ARRAY AND READ-OUT ELECTRONICS ON FLEXIBLE SUBSTRATE
机译:
柔性基材上的化学纳米纤维传感器阵列和读出电子产品
作者:
A. Pecora
;
L. Maiolo
;
E. Zampetti
;
S. Pantalei
;
A. Valletta
;
A. Minotti
;
F. Maita
;
D. Simeone
;
M. Cuscuna
;
A. Bearzotti
;
A. Macagnano
;
L. Mariucci
;
G. Fortunato
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Sensor array;
Flexible substrate;
Read-out electronics;
Electrospinning;
73.
ROBUSTNESS OF ELECTROSTATIC MEMS ACTUATORS AGAINST ELECTRICAL OVERSTRESS
机译:
静电MEMS执行器对电过光的鲁棒性
作者:
J. De Coster
;
X. Rottenberg
;
S. Sangameswaran
;
P. Ekkels
;
H. A. C. Tilmans
;
I. De Wolf
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS;
Electrostatic actuator;
EOS/ESD;
74.
TOWARDS NANOROBOTS
机译:
走向纳诺罗伯
作者:
B. J. Nelson
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Nanorobotics;
Microrobotics;
Nanocoils;
Magnetic Actuation;
75.
HIGHER-ORDER MODE INTERNAL ELECTROSTATIC TRANSDUCTION OF A BULK-MODE RING RESONATOR ON A QUARTZ SUBSTRATE
机译:
在石英衬底上的散装模式环谐振器的高阶模式内部静电转换
作者:
M. Ziaei-Moayyed
;
J. Hsieh
;
J. W. P. Chen
;
E. P. Quevy
;
D. Elata
;
R. T. Howe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
RF MEMS;
Bulk-mode resonator;
Internal electrostatic transduction;
Filled gap dielectric;
Quartz substrate;
76.
LONGITUDINAL BULK ACOUSTIC MASS SENSOR
机译:
纵向散装声传感器
作者:
J. H. Hales
;
J. Teva
;
A. Boisen
;
Z. J. Davis
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Bulk acoustic resonator;
Mass sensor;
MEMS;
Silicon;
Capacitive readout;
77.
OPTICALLY-INDUCED DIELECTROPHORESIS USING POLYMER MATERIALS FOR BIOMEDICAL APPLICATIONS
机译:
使用聚合物材料进行光学诱导的介电电泳,用于生物医学应用
作者:
Gwo-Bin Lee
;
Yen-Heng Lin
;
Wang-Ying Lin
;
Wei Wang
;
Tzung-Fang Guo
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Optically-induced dielectrophoresis;
Polymer;
Cell lysis;
Flow cytometry;
Separation;
78.
MONOLITHICALLY INTEGRATED CARBON NANOTUBE BUNDLE FIELD EMITTERS USING A DOUBLE-SOI PROCESS
机译:
使用双SOI工艺的单片集成的碳纳米管束场发射器
作者:
Risaku Toda
;
Edward M. Luong
;
Robert Lin
;
Anna Liao
;
Harish M. Manohara
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Carbon nanotube;
Field emitter;
Double-SOI wafer;
Photoresist coating;
79.
ENCAPSULATED OUT-OF-PLANE DIFFERENTIAL SQUARE-PLATE RESONATOR WITH INTEGRATED ACTUATION ELECTRODES
机译:
用集成致动电极封装平面外差分方形板谐振器
作者:
Kuan-Lin Chen
;
Shasha Wang
;
James Salvia
;
Roger T. Howe
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Resonator;
Wafer Level Packaging;
Out-of-Plane device;
RF MEMS;
80.
A HYBRID GENERATOR FOR VIBRATION ENERGY HARVESTING APPLICATIONS
机译:
用于振动能量收集应用的混合发电机
作者:
M. Wischke
;
M. Masur
;
P. Woias
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Energy harvesting;
Power generator;
Piezoelectric;
Electromagnetic;
Vibrations;
81.
HIGH-Q AND LOW-R_m 24-MHz RADIAL-CONTOUR MODE DISK RESONATORS FABRICATED WITH SILICON PASSIVE INTEGRATION TECHNOLOGY
机译:
高Q和低R_M 24-MHz径向轮廓模式磁盘谐振器,由硅无源集成技术制成
作者:
M. Sworowski
;
F. Neuilly
;
B. Legrand
;
A. Summanwar
;
F. Lallemand
;
P. Philippe
;
L. Buchaillot
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS Resonator;
Single-Crystal Silicon;
Bulk Micromachining;
82.
LABEL-FREE ELECTRONIC DETECTION OF GROWTH FACTOR INDUCED CELLULAR CHATTER ON CHEMORECEPTIVE NEURON MOS (CvMOS) TRANSISTORS
机译:
无标签电子检测增长因子诱导化学敏感性神经元MOS(CVMOS)晶体管的细胞串
作者:
Krishna Jayant
;
Teresa Porri
;
Jon. W. Erickson
;
Edwin C. Kan
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Cancer;
Growth Factor;
EGF;
CMOS;
Cells;
Capacitance;
83.
THE DOUBLE-SIDE ELECTROPLATING AND SLENDER FERROMAGNETIC PATTERNS TORQUE-ENHANCEMENT DESIGN FOR MAGNETOSTATIC ACTUATOR
机译:
磁静压执行器的双面电镀和细长铁磁图案扭矩 - 增强设计
作者:
Tsung-Lin Tang
;
Chia-Pao Hsu
;
Wen-Chien Chen
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Actuator;
Magnetostatic force;
Slender pattern;
Double-side electroplating;
84.
DECORATED NANOTUBE BUCKYPAPER AS ELECTROCATALYST FOR GLUCOSE FUEL CELLS
机译:
装饰纳米管蛋白棒作为葡萄糖燃料电池的电催化剂
作者:
L. Hussein
;
Y. Feng
;
A. Habrioux
;
K. Servat
;
B. Kokoh
;
N. Alonso-Vante
;
G. Urban
;
M. Kruger
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Carbon nanotubes;
Buckypaper;
Surfactant;
Glucose biofuel cell;
Supported electrocatalyst;
Nanocatalyst;
85.
A 3D GLASS MICROPROBE ARRAY WITH EMBEDDED SILICON FOR ALIGNMENT AND ELECTRICAL CONNECTION
机译:
具有嵌入式硅的3D玻璃微探针阵列,用于对准和电气连接
作者:
Yu-Tao Lee
;
Chiung-Wen Lin
;
Chia-Min Lin
;
Shih-Rung Yeh
;
Yen-Chung Chang
;
Chien-Chung Fu
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Neural probe;
Assembly;
3D;
Glass;
86.
MAGNETIC NANOPARTICLE-DRIVEN PUMPING IN MICROCHANNELS
机译:
微通道中的磁性纳米粒子驱动泵浦
作者:
K. L. Tsai
;
D. Pickard
;
J. Kao
;
X. Yin
;
B. Leen
;
K. Knutson
;
R. Kant
;
R. T. Howe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Magnetic nanoparticle;
Ferrofluid;
Micropump;
Fluid flow control;
Microchannel;
87.
HYBRID INTEGRATED PLATFORM OF PDMS MICROFLUIDICS AND SILICA CAPILLARY FOR EFFECTIVE CE AND ESI-MS COUPLING
机译:
PDMS微流体和二氧化硅毛细管的杂化集成平台,有效CE和ESI-MS耦合
作者:
Ivan K. Dimov
;
Asif Riaz
;
Jens Ducree
;
Luke P. Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
CE;
Microfluidics;
ESI-MS;
Silica Capillary;
Integration;
88.
SELF-PATTERNED SEEDLESS GOLD ELECTROPLATING IN HIGH-ASPECT-RATIO CHANNELS FOR μGC APPLICATIONS
机译:
在高纵横比通道中自图案无籽金电镀,用于μGC应用
作者:
M. A. Zareian-Jahromi
;
M. Agah
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Seedless gold electroplating;
Self-patterned;
μGC;
Separation column;
DRIE;
89.
THE DEVELOPMENT OF NOVEL SURFACE ACOUSTIC WAVE MEMS-IDT GYROSCOPE BASED ON STANDING WAVE MODE
机译:
基于站立波模式的新型表面声波MEMS-IDT陀螺仪的发展
作者:
Haekwan Oh
;
Keekeun Lee
;
Sangsik Yang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Coriolis force;
SAW delay line;
SAW gyroscope;
SAW resonator;
90.
BULK ACOUSTIC WAVE RESONATORS FOR INFRARED DETECTION APPLICATIONS
机译:
用于红外检测应用的批量声波谐振器
作者:
M. B. Pisani
;
P. Kao
;
S. Tadigadapa
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Temperature sensitive quartz resonator;
Micromachined quartz resonators;
Uncooled infrared sensors;
91.
JUNCTION BASED ENHANCEMENT IN NANOWIRE THERMOELECTRICS
机译:
基于结纳米线热电的结基增强
作者:
N. Duarte
;
S. Tadigadapa
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS thermoelectric workbench;
Gold thermopower;
Tunnel junction thermopower;
Nickel thermal conductivity;
Gold nanowires;
92.
SIMULTANEOUS PUMPING AND DENSITY-SELECTIVE PARTICLE FOCUSING USING AC-DRIVEN ELECTRO-OSMOTIC MICROPUMPS
机译:
使用AC驱动的电渗透微型微泵同时泵送和密度选择性粒子聚焦
作者:
W. Hilber
;
B. Weiss
;
A. Saeed
;
T. Lederer
;
B. Jakoby
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Particle separation;
Electro-osmosis;
Dielectrophoresis;
93.
ULTRASONIC MICROHEATERS USING PIEZO-CERAMICS FOR CAUTERIZATION AND OTHER APPLICATIONS
机译:
超声波微热使用压电陶瓷,用于烧灼和其他应用
作者:
Karthik Visvanathan
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Ultrasonic heating;
Thermal elements;
Piezoelectric actuation;
Biological tissue;
94.
NEW ELECTROMAGNETIC TRANSDUCTION MICRO-SENSOR CONCEPT FOR PASSIVE WIRELESS PRESSURE MONITORING APPLICATION
机译:
用于被动无线压力监控应用的新电磁转导微传感器概念
作者:
M. M. Jatlaoui
;
F. Chebila
;
I. Gmati
;
P. Pons
;
H. Aubert
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Electromagnetic transduction;
Passive Wireless Pressure micro-sensor;
Planar resonator;
Pressure Probe Module;
Anodic Bonding;
95.
PIEZORESISTIVE RING-SHAPED MEMS RESONATOR
机译:
压阻环形MEMS谐振器
作者:
K. L. Phan
;
J. T. M. van Beek
;
G. E. J. Koops
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
MEMS;
MEMS resonator;
Micromechanical resonator;
Piezoresistive;
96.
TEFLON-CARBON BLACK AS NEW MATERIAL FOR THE HYDROPHOBIC PATTERNING OF POLYMER LABS-ON-A-CHIP
机译:
Teflon-Carbon Black作为聚合物实验室的疏水图案的新材料
作者:
L. Riegger
;
M. M. Mielnik
;
D. Mark
;
W. Streule
;
M. Clad
;
R. Zengerle
;
P. Koltay
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Hydrophobic valves;
Flow control;
Superhydrophobic;
Quality control;
Low-cost;
97.
STRESS-ASSISTANT SELECTIVE ETCHING MECHANISM FOR LITHOGRAPHY-INDEPENDENT NANOFABRICATION
机译:
用于光刻无关的纳米制备的应力辅助选择性蚀刻机制
作者:
F. Ding
;
C. Ni
;
W. X. Yu
;
C. Li
;
W. G. Wu
;
J. Xu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Stress-assistant selective etching;
Focused ion beam;
Stress introducing;
Nanofabrication;
98.
TRANSPARENT AND FLEXIBLE TACTILE SENSOR FOR MULTI TOUCH SCREEN APPLICATION WITH FORCE SENSING
机译:
具有力传感的多触摸屏应用的透明柔性触觉传感器
作者:
Hong-Ki Kim
;
Seung-Gun Lee
;
Ji-Eun Han
;
Tae-Rim Kim
;
Sung-Up Hwang
;
Seong Deok Ahn
;
In-Kyu You
;
Kyoung-Ik Cho
;
Tai-Kyong Song
;
Kwang-Seok Yun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Touch screen;
Tactile sensor;
Flexible device;
99.
TANGENTIAL AND PERPENDICULAR DRIVING MICRO TRANSMISSION SYSTEMS BASED ON RATCHET MECHANISM AND ELECTROSTATIC ACTUATOR
机译:
基于棘轮机构和静电致动器的切向和垂直驾驶微传输系统
作者:
Dzung Viet Dao
;
Phuc Hong Pham
;
Satoshi Senkawa
;
Susumu Sugiyama
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Electrostatic actuator;
Ratchet mechanism;
Transportation system;
Micro container;
100.
LOW CONTACT RESISTANCE MICRO THERMAL SWITCH WITH CARBON-NANOTUBE-ENHANCED CONTACTOR
机译:
具有碳纳米管增强型接触器的低接触电阻微型热开关
作者:
T. Tsukamoto
;
M. Esashi
;
S. Tanaka
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2009年
关键词:
Thermal switch;
Carbon nanotube (CNT);
Thermal contact resistance;
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