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International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
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1.
A MICRO ELECTROSTATIC LINEAR ACCELERATOR BASED ON ELECTROMAGNETIC LEVITATION
机译:
基于电磁悬浮的微静电线性加速器
作者:
I. Sari
;
M. Kraft
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Electrostatic accelerator;
Electromagnetic levitation;
Contactless propulsion;
Micro fabrication;
2.
TEMPORAL MODULATION OF X-RAYS USING MEMS MICROMIRRORS
机译:
使用MEMS微镜的X射线的时间调制
作者:
Deepkishore Mukhopadhyay
;
Donald Walko
;
Il Woong Jung
;
Jin Wang
;
Gopal Shenoy
;
Daniel Lopez
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS;
Resonant micromirrors;
X-ray modulation;
3.
BISTABLE OPTOFLUIDIC ATTENUATOR WITH INTEGRATED ELECTROWETTING ACTUATION AND HIGH DYNAMIC RANGE
机译:
双稳态精工衰减器,具有集成电润湿致动和高动态范围
作者:
P. Muller
;
A. Kloss
;
W. Monch
;
H. Zappe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Optical attenuator;
Microfluidics;
EWOD actuator;
Oil dyes;
Dry film resist;
Full wafer bonding;
4.
SYNCHRONIZED OSCILLATION IN MICRO MECHANICALLY COUPLED OPPOSITE C-SHAPED CANTILEVER-BASED OSCILLATOR SYSTEM
机译:
微型机械耦合对相对的C形悬臂振荡器系统的同步振荡
作者:
Mamoru Nakajima
;
Dong F. Wang
;
Tsuyoshi Ikehara
;
Ryutaro Maeda
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Doubling frequency response;
Synchronization;
Opposite C-shaped;
Beam-shaped;
Frequency ratio;
5.
LEUKOCYTE 5-PART DIFFERENTIAL COUNT USING A MICROFLUIDIC CYTOMETER
机译:
白细胞5部分差分计数使用微流体细胞仪
作者:
W. Shi
;
L. W. Guo
;
H. Kasdan
;
A. Fridge
;
YC. Tai
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Blood;
Leukocyte Differential;
Microfluidic Cytometer;
6.
POLYMER-DISPERSED LIQUID CRYSTALS LIGHT SHUTTER DRIVEN BY SURFACE ACOUSTIC WAVE
机译:
聚合物分散的液晶光挡板由表面声波驱动
作者:
Yan Jun Liu
;
Xiaoyun Ding
;
Sz-Chin Steven Lin
;
Jinjie Shi
;
Tony Jun Huang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Polymer-dispersed liquid crystal (PDLC);
Surface acoustic wave (SAW);
Acousto-optic;
Optical shutter;
7.
PLASTIC DEFORMATION OF MICROSTRUCTURES USING CARBON NANOTUBES FILM AS LATCHING SURFACE
机译:
碳纳米管膜作为锁定表面微观结构的塑性变形
作者:
Y. Eun
;
J. I. Lee
;
J. Choi
;
Y. Song
;
J. Kim
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotube (CNT);
High temperature process;
Plastic deformation;
Scanning micromirror;
Latching surface;
8.
MAGNETOPHORETIC LABEL-FREE CELL SEPARATION USING PARAMAGNETIC SOLUTION
机译:
使用顺磁性溶液的无磁体标记细胞分离
作者:
F. Shen
;
H. Hwang
;
Y. K. Hahn
;
J. K. Park
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Magnetophoresis;
Label-free;
Paramagnetic solution;
Cell separation;
9.
MAGNETORESISTANCE BEHAVIORS OF UNDOPED AND N-DOPED GRAPHENE GROWN BY CVD METHOD
机译:
CVD法生长未掺杂和N掺杂石墨烯的磁阻行为
作者:
W. R. Wang
;
Y. X. Zhou
;
T. Li
;
M. F. Wang
;
X. M. Xie
;
Y. L. Wang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Graphene;
CVD;
Magnetoresistance;
Doping;
10.
TIME PREDICTIVE MODEL OF CHARGE ACCUMULATION IN BULK PECVD DIELECTRIC MATERIALS USED FOR ELECTROSTATIC RF MEMS SWITCHES
机译:
用于静电RF MEMS开关的散装PECVD介电材料中电荷累积时间预测模型
作者:
F. Souchon
;
A. Koszewski
;
C. Dieppedale
;
T. Ouisse
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Dielectric charging;
Silicon nitride;
Silicon oxide;
Charge accumulation;
Trapping kinetics;
11.
TEMPERATURE DEPENDENCE OF VACUUM ENCAPSULATED RESONATORS FOR HUMIDITY MEASUREMENT
机译:
真空封装谐振器用于湿度测量的温度依赖性
作者:
R. G. Hennessy
;
M. M. Shulaker
;
M. W. Messana
;
A. B. Graham
;
N. Klejwa
;
J. Provine
;
T. W. Kenny
;
R. T. Howe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Humidity Sensor;
Double Ended Tuning Fork Sensor (DETF);
Charge-biased;
Encapsulated;
Surface conduction;
12.
AN EWOD DRIVEN MILLIMETER-WAVE PHASE SHIFTER USING A MOVABLE ULTRASOFT METALIZED PDMS GROUND PLANE
机译:
使用可移动超声熔融PDMS接地平面的EWOD驱动毫米波移相器
作者:
Sami Hage-Ali
;
Nicolas Tiercelin
;
Florian Lapierre
;
Yovan Orlic
;
Maxime Harnois
;
Vincent Thomy
;
Vladimir Preobrazhensky
;
Philippe Pernod
;
Philippe Coquet
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
EWOD;
Phase shifter;
PDMS membrane;
13.
DISPOSABLE MICRO DEVICES FOR CLINICAL ICSI
机译:
用于临床ICSI的一次性微型器件
作者:
X. P. Zhang
;
Z. Lu
;
Y. Sun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Intracytoplasmic Sperm Injection (ICSI);
Micro Devices;
Cell Manipulation;
14.
LABEL-FREE REAL TIME IMAGING OF NEURAL COMMUNICATION USING ACETYLCHOLINE IMAGE SENSOR
机译:
使用乙酰胆碱图像传感器无标记的神经通信实时成像
作者:
Shoko TAKENAGA
;
Yui TAMAI
;
Kengo HIRAI
;
Kazuhiro TAKAHASHI
;
Takashi SAKURAI
;
Susumu TERAKAWA
;
Makoto ISHIDA
;
Koichi OKUMURA
;
Kazuaki SAWADA
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
ACh image sensor;
Neural communication imaging;
Label free;
15.
CAVITY OPTOMECHANICAL SENSORS
机译:
腔光机械传感器
作者:
H. Miao
;
K. Srinivasan
;
M. T. Rakher
;
M. Davanco
;
V. Aksyuk
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
16.
DIE-LEVEL TSV FABRICATION PLATFORM FOR CMOS-MEMS INTEGRATION
机译:
CMOS-MEMS集成的模具级TSV制造平台
作者:
Y. Temiz
;
M. Zervas
;
C. Guiducci
;
Y. Leblebici
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Die-level Post-CMOS Processing;
3D-Integration;
Through-Silicon-Via (TSV);
CMOS-MEMS Integration;
17.
MICROMECHANICAL MAGNETOMETERS BASED ON CLAMPED-CLAMPED HIGH-Q NONLINEAR RESONATORS
机译:
基于夹紧夹紧高Q非线性谐振器的微机械磁力计
作者:
D. Antonio
;
D. Lopez
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nonlinear resonator;
Magnetometer;
MEMS;
18.
DESIGN, MODELING, FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF AN ELECTRET-BASED MEMS ELECTROSTATIC ENERGY HARVESTER
机译:
基于驻极体静电能量收割机的设计,建模,制造和表征
作者:
G. Altena
;
D. Hohlfeld
;
R. Elfrink
;
M. H. Goedbloed
;
R. van Schaijk
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS;
Electret;
Energy harvester;
Scavenging;
Electrostatic;
Variable capacitor;
Vibration generation;
SABER;
19.
HIGH-Q, LARGE-STOPBAND-REJECTION INTEGRATED CMOS-MEMS OXIDE RESONATORS WITH EMBEDDED METAL ELECTRODES
机译:
具有嵌入式金属电极的高Q,大型抑制集成CMOS-MEMS氧化物谐振器
作者:
Yu-Chia Liu
;
Ming-Han Tsai
;
Wen-Chien Chen
;
Sheng-Shian Li
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
CMOS-MEMS;
Integration;
High-Q;
Oxide resonator;
Metal release;
High selectivity;
20.
HYGROSCOPIC BIOMIMETIC TRANSDUCERS MADE FROM CNT-HYDROGEL COMPOSITES
机译:
用CNT-水凝胶复合材料制成的吸湿性仿生传感器
作者:
M. De Volder
;
S. Tawfick
;
D. Copic
;
A. J. Hart
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microactuator;
Microsensor;
Carbon Nanotube;
CNT;
Hydrogel;
Biomimetic;
21.
ENHANCED PERFORMANCE OF A CMOS INTERDIGITAL CAPACITIVE HUMIDITY SENSOR BY GRAPHENE OXIDE
机译:
通过石墨烯氧化物增强CMOS叉指电容湿度传感器的性能
作者:
Cheng-Long Zhao
;
Ming Qin
;
Wei-Hua Li
;
Qing-An Huang
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Capacitive sensor;
Humidity sensor;
Graphene oxide;
Polyimide;
22.
VARIFOCAL SCANNING MICRO-MIRROR FABRICATED FROM SILICON-ON-INSULATOR WAFER
机译:
来自绝缘体上的硅晶片制造的变形扫描微镜
作者:
T. Sasaki
;
K. Hane
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Varifocal mirror;
Scanning micro-mirror;
Silicon-on-insulator wafer;
23.
VOLTAGE PROGRAMMABLE DUAL-BAND BANDPASS/BANDSTOP FILTER RESPONSE IN A SINGLE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE
机译:
单个微机械装置中的电压可编程双频带带通/带器滤波器响应
作者:
X. Zou
;
J. Yan
;
A. A. Seshia
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Dual-band filter;
Resonators;
Voltage programmability;
24.
PROGRAMMABLE TRANSFORMATION OF VERTICALLY ALIGNED CARBON NANOTUBES INTO 3D MICROSTRUCTURES
机译:
可编程将垂直对准碳纳米管转化为3D微结构的变换
作者:
M. De Volder
;
S. Tawfick
;
S. J. Park
;
D. Copic
;
A. J. Hart
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotube (CNT);
Capillary;
Self-Assembly;
Three-dimensional;
25.
IMPACT OF ENCAPSULATION MATERIALS ON THE PERFORMANCE OF SILICON-BASED SOLID STATE HIGH PRESSURE SENSORS WITH SURFACE TRENCHES
机译:
封装材料对硅基固态高压传感器性能的影响
作者:
M. Baumann
;
C. Sander
;
P. Ruther
;
O. Paul
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Pressure sensor;
High pressure;
Piezoresistive;
Solid state sensor;
26.
A FLEXIBLE FISH-BONE-SHAPED NEURAL PROBE STRENGTHENED BY BIODEGRADABLE SILK COATING FOR ENHANCED BIOCOMPATIBILITY
机译:
通过可生物降解的丝绸涂层强化了一种柔性鱼骨形神经探头,用于增强生物相容性
作者:
Fan Wu
;
Maesoon Im
;
Euisik Yoon
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Neural probe;
Polyimide;
Silk;
Biocompatibility;
27.
HIGHLY SENSITIVE BILAYER STRUCTURED GRAPHENE SENSOR
机译:
高度敏感的双层结构石墨烯传感器
作者:
F. B. Rao
;
H. Almumen
;
L. X. Dong
;
W. Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Bilayer graphene;
Nanosensor;
Inter-sheet effect;
Tunneling;
28.
MICRO-MIRRORS CONNECTED IN SERIES FOR LOSS-MECHANISM STUDY AND LOW-VOLTAGE OPERATION
机译:
串联连接的微镜用于丢失机制研究和低压操作
作者:
S. Kotani
;
H. M. Chu
;
T. Sasaki
;
K. Hane
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Micro-mirror;
Energy loss;
Mechanical coupling;
29.
LIQUID-ENCAPSULATED ENERGY HARVESTER FOR LOW FREQUENCY VIBRATIONS
机译:
用于低频振动的液体封装能量收割机
作者:
L. Bu
;
X. M. Wu
;
X. H. Wang
;
L. T. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Liquid;
Energy harvester;
Low frequency vibration;
30.
3-D MICROCOILS AS A METAMATERIAL WITH ELECTRIC AND MAGNETIC RESPONSE
机译:
3-D微加工作为具有电磁反应的超材料
作者:
K. Kratt
;
S. Waselikowski
;
V. Badilita
;
U. Wallrabe
;
M. Walther
;
J. G. Korvink
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Wire bonding;
Microcoil;
Metamaterial;
Terahertz;
31.
CONTINUOUS MEMBRANE DEFORMABLE MIRROR FOR ADAPTIVE OPTICS USING BIMORPH SPRING
机译:
用于使用Bimorph Spring的自适应光学器件的连续膜可变形镜
作者:
T. Wu
;
M. Akiyama
;
K. Hane
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Deformable mirror;
Adaptive optics;
32.
THREE DIMENSIONAL NANOSCALE FABRICATION AND MODELING OF DYNAMIC MODE MULTIDIRECTIONAL UV LITHOGRAPHY
机译:
三维纳米级制造与动态模式多向UV光刻建模
作者:
Jungkwun J. K. Kim
;
Xiaoyu Cheng
;
David E. Senior
;
Mark G. Allen
;
Yong-Kyu YK Yoon
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Dynamic mode multidirectional UV lithography;
3-D nanoscale structure;
Subwavelength patterning;
Diffraction;
Terahertz;
33.
DIFFERENT STICTION MECHANISMS IN ELECTROSTATIC MEMS DEVICES: NANOSCALE CHARACTERIZATION BASED ON ADHESION AND FRICTION MEASUREMENTS
机译:
静电MEMS器件中的不同缺点机制:基于粘附和摩擦测量的纳米级表征
作者:
U. Zaghloul
;
B. Bhushan
;
P. Pons
;
G. Papaioannou
;
F. Coccetti
;
R. Plana
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Stiction;
Dielectric charging;
Adhesive force;
Field-induced meniscus;
Friction force;
Electrostatic MEMS;
34.
A MICROMACHINED OPTICAL DELAY LINE BY SWITCHABLE METAMATERIALS
机译:
可切换的超材料的微机械光延迟线
作者:
W. M. Zhu
;
J. F. Tao
;
J. H. Teng
;
X. H. Zhang
;
H. Tanoto
;
H. C. Guo
;
Q. Y. Wu
;
T. Bourouina
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Switchable metamaterials;
Optical delay line;
Micro-electro-mechanical system (MEMS);
35.
POWER ENHANCEMENT OF MICRO THERMOELECTRIC GENERATORS BY MICRO FLUIDIC HEAT TRANSFER PACKAGING
机译:
通过微流体传热包装电源增强微型热电发电机
作者:
N. Z. Wojtas
;
E. Schwyter
;
W. Glatz
;
S. Kuhne
;
W. Escher
;
C. Hierold
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Thermoelectric power generation;
Micro heat transfer systems;
Micro fluidic packaging;
Heat transfer resistance;
36.
AXIALLY STRETCHED NANO-THICK PIEZORESISTIVE SILICON CLAMPED-BEAMS TO SENSE SPECIFIC-REACTION-INDUCED DOUBLE-SIDE SURFACE-STRESS WITH MUCH HIGHER SENSITIVITY THAN CANTILEVERS
机译:
轴向拉伸的纳米厚的压阻式硅夹梁,以感测比反应诱导的双侧表面应力,比悬臂更高的敏感性
作者:
Ying Chen
;
Pengcheng Xu
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nano-scale size-effect;
Piezoressitive beam;
Double-side modification;
Surface-stress sensing;
High sensitivity;
37.
HIGHLY EFFICIENT PIEZOELECTRIC MICRO HARVESTER FOR LOW LEVEL OF ACCELERATION FABRICATED WITH A CMOS COMPATIBLE PROCESS
机译:
高效的压电微收割机,具有CMOS兼容过程的低水平加速度
作者:
M. Defosseux
;
M. Allain
;
P. Ivaldi
;
E. Defay
;
S. Basrour
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Piezoelectricity;
Energy harvesting;
AlN;
38.
SUSPENDED CARBON NANOTUBE THIN FILM STRUCTURES WITH HIGH DEGREE OF ALIGNMENT FOR NEMS SWITCH APPLICATIONS
机译:
悬浮碳纳米管薄膜结构具有高对准的NEMS开关应用
作者:
Dongjin Lee
;
Zhijiang Ye
;
Stephen A. Campbell
;
Tianhong Cui
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotube;
Alignment;
Microfluidics;
NEMS switch;
39.
TUNABLE SOLID-BODY ELASTOMERIC DIFFRACTIVE LENS
机译:
可调谐固体弹性体衍射透镜
作者:
Y. Sun
;
S. Thiele
;
P. Liebetraut
;
W. Monch
;
H. Zappe
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Diffractive optical element;
Fresnel zone plate;
Tunable lens;
Diffractive lens;
Molding;
40.
AGING CHARACTERISTICS OF ELECTRET USED IN A VIBRATION-BASED ELECTROSTATIC INDUCTION ENERGY HARVESTER
机译:
振动静电感应能源收割机中使用的驻力老化特性
作者:
Y. Wada
;
Y. Hamate
;
S. Nagasawa
;
H. Kuwano
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Electret;
Aging;
Rotating harvester;
41.
MICROELECTROMAGNETIC ENERGY HARVESTER WITH INTEGRATED MAGNETS
机译:
微电磁能量收割机与集成磁铁
作者:
Q. Zhang
;
S. J. Chen
;
L. Baumgartel
;
A. Lin
;
E. S. Kim
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Energy harvester;
Microelectromagnetic power generator;
Integrated magnets;
42.
ELECTROSTATIC GATING OF ION AND MOLECULE TRANSPORT THROUGH A NANOCHANNEL-ARRAY MEMBRANE
机译:
离子和分子通过纳米通道阵列膜的静电栅
作者:
G. Pardon
;
W. van der Wijngaart
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nanofluidics;
Nanochannels;
Electrostatic gating;
Surface charge;
Model;
43.
PIEZORESISTIVE BIOCOMPATIBLE MEMBRANES FOR FLEXIBLE PRESSURE SENSORS
机译:
用于柔性压力传感器的压阻性生物相容性膜
作者:
Vladimir Laukhin
;
Victor Lebedev
;
Elena Laukhina
;
Concepcio Rovira
;
Jaume Veciana
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Flexible all-organic pressure sensors;
44.
GRAPHITIZATION OF N-TYPE POLYCRYSTALLINE SILICON CARBIDE AND ITS APPLICATION FOR MICRO- SUPERCAPACITORS
机译:
n型多晶硅碳化硅的石墨化及其对微型超级电容器的应用
作者:
F. Liu
;
A. Gutes
;
C. Carraro
;
J. Chu
;
R. Maboudian
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Supercapacitor;
MEMS;
Silicon carbide;
Graphitization;
Graphitic carbon;
45.
TRANSMISSIVE COLOR SHIFT THROUGH LAYERED SUB-WAVELENGTH GRATINGS BASED ON PLASMON ENHANCED COUPLING
机译:
通过基于等离子体增强耦合的透射色移通过分层子波长光栅
作者:
T. Lee
;
A. Higo
;
H. Fujita
;
Y. Nakano
;
H. Toshiyoshi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Surface plasmon polariton;
Sub-wavelength gratings;
Color filter;
Wire-grid polarizer;
FDTD simulation;
46.
A NOVEL MEMS CONFIGURATION FOR THREE DIMENSIONAL FINE POSITIONING AND MECHANICAL FIXING OF A BALL LENS IN THE PACKAGING OF SILICON PHOTONICS
机译:
一种新的MEMS配置,用于硅光子封装中的球透镜的三维精细定位和机械固定
作者:
Q. X. Zhang
;
Y. Du
;
C. W. Tan
;
J. Zhang
;
M. B. Yu
;
G. Q. Lo
;
D. L. Kwong
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS;
Lens holder;
Active alignment;
Mechanical locking;
Si-photonics;
Packaging;
47.
VERY HIGH FREQUENCY DOUBLE-ENDED TUNING FORK NANO-MECHANICAL FIN-FET RESONATOR
机译:
非常高频双端调谐叉纳米机械鳍FET谐振器
作者:
S. T. Bartsch
;
D. Grogg
;
A. Lovera
;
D. Tsamados
;
A. M. Ionescu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Tuning fork;
Resonator;
Mixing;
Nanomechanical;
Resonant-body transistor;
Electromechanical frequency conversion;
48.
GOLD MEMBRANES WITH LARGE ARRAYS OF SUB-μm HOLES FABRICATED BY WAFER-SCALE NANOSPHERE LITHOGRAPHY
机译:
用晶圆级纳米光刻制造的大亚μm孔阵列的金膜
作者:
M. J. K. Klein
;
R. Eckert
;
M. Guillaumee
;
L. A. Dunbar
;
H. Heinzelmann
;
J. Brugger
;
R. Pugin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Nanosphere Lithography;
Gold membranes;
Hole arrays;
Sub-wavelength holes;
Surface plasmons;
Extraordinary optical transmission;
49.
SILICON BULKMICROMACHINED PIEZOELECTRICALLY ACTUATED CORNER CUBE RETROFLECTOR
机译:
硅散装微机械压电驱动的角隅响光器
作者:
J. C. Park
;
J. Y. Park
;
J. Y. Won
;
D. H. Kim
;
J. Park
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Corner cube retroflector;
Piezoelectric;
Bulk-micromachining;
PZT ceramic;
50.
HIGHLY SCALABLE AND SENSITIVE BROADBAND 1HZ ~ 1KHZ VIBRATED ENERGY HARVESTER WITH NOVEL SELF-ALTERNATION MAGNETIC-FLUX AND 3D COILS
机译:
高度可扩展和敏感的宽带1Hz〜1kHz振动能量收割机,具有新型自交换磁通和3D线圈
作者:
Y. S. Lai
;
M. Q. Wei
;
H. C. Lin
;
Y. J. Cheng
;
Y. B. Lin
;
C. H. Ho
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Energy Harvester;
Self-Alternation Magnetic-Flux;
51.
IMPROVED RELIABILITY OF SIC PRESSURE SENSORS FOR LONG TERM HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS
机译:
改进了SiC压力传感器可靠性,用于长期高温应用
作者:
R. S. Okojie
;
V. Nguyen
;
E. Savrun
;
D. Lukco
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Silicon Carbide;
High Temperature;
Pressure Sensor;
Offset Voltage Drift;
Reliability;
52.
INDEPENDENT TUNING OF QUALITY FACTOR AND RESONANT FREQUENCY OF TORSIONAL MICRO-RESONATORS FOR TIMING AND SENSING APPLICATIONS
机译:
用于定时和传感应用的扭转微谐振器的质量因子和谐振频率的独立调整
作者:
M. A. Rasouli
;
B. Bahreyni
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEM-resonators;
Anchor loss;
Quality factor control;
53.
A MICRO TESLA TURBINE FOR POWER GENERATION FROM LOW PRESSURE HEADS AND EVAPORATION DRIVEN FLOWS
机译:
用于低压头的发电和蒸发驱动流的微型特斯拉涡轮机
作者:
Vedavalli G. Krishnan
;
Zohora Iqbal
;
Michel M. Maharbiz
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Tesla turbine;
Viscous turbine;
Miniaturize turbine;
Power MEMS;
Microturbine;
54.
SINGLE-CRYSTAL-SILICON VIBRATORY CYLINDERICAL RATE INTEGRATING GYROSCOPE (CING)
机译:
单晶硅振动圆柱速率整合陀螺仪(Cing)
作者:
J. Cho
;
J. A. Gregory
;
K. Najafi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Rate-integrating gyroscope;
Whole angle gyroscope;
55.
GROWTH OF HORIZONTALLY ALIGNED CARBON NANOTUBES FROM DESIGNATED SIDEWALLS OF DRIE-ETCHED SILICON TRENCH
机译:
从Drie蚀刻硅沟槽指定侧壁的水平对齐碳纳米管的生长
作者:
Jingyu Lu
;
Jianmin Miao
;
Ting Xu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotubes;
Horizontal;
Trench;
Sidewall;
56.
DNA MICROARRAYS IMMOBILIZED ON UNMODIFIED PLASTICS IN A MICROFLUIDIC BIOCHIP FOR RAPID TYPING OF AVIAN INFLUENZA VIRUS
机译:
DNA微阵列在微流体生物芯片中固定在未修饰的塑料上,以快速打字禽流感病毒
作者:
Y. Sun
;
I. R. Perch-Nielsen
;
M. Dufva
;
D. Sabourin
;
D. D. Bang
;
J. Hogberg
;
M. Bu
;
A. Wolff
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microarray;
Microfluidic;
Non-modified plastic;
UV;
DNA immobilization;
57.
MICROPARTICLE TRAPPING AND MANIPULATION BY OPTICAL FORCE IN DOUBLE COUPLED RING RESONATOR (DCRR) VIA WAVELENGTH TUNING
机译:
通过波长调谐,通过双耦合环谐振器(DCRR)中的光学力进行微粒捕获和操纵
作者:
Y. F. Yu
;
H. Cai
;
J. F. Tao
;
T. Bourouina
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microparticle trapping;
Double coupled ring resonator (DCRR);
Optical force;
58.
HIGH-Q IN-PLANE RESONANCE-MODE CANTILEVER BIO/CHEMICAL SENSOR FOR REAL-TIME DETECTION IN LIQUIDS
机译:
高Q内共振模式悬臂生物/化学传感器,用于液体实时检测
作者:
Y. H. Tao
;
C. Z. Wei
;
H. T. Yu
;
P. C. Xu
;
T. G. Xu
;
B. Xiong
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microcantilever sensors;
In-plane resonance mode;
Quality factor;
Detection in liquids;
E. coli;
Hg~(2+) ions in water;
59.
INERTIAL PARTICLE FOCUSING IN PARALLEL MICROFLUIDIC CHANNELS FOR HIGH-THROUGHPUT FILTRATION
机译:
用于高通量过滤的平行微流体通道的惯性粒子
作者:
J. Hansson
;
J. M. Karlsson
;
T. Haraldsson
;
W. van der Wijngaart
;
A. Russom
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Inertial microfluidics;
Inertial focusing;
3D fluidic networks;
PDMS;
Particle filtration;
60.
MONOLITHIC-INTEGRATED SILICON BULK-MICROMACHINED ACCELEROMETER AND PRESSURE-SENSOR FOR TIRE-PRESSURE-MONITORING-SYSTEM (TPMS) APPLICATION
机译:
用于轮胎压力监测系统(TPMS)应用的单片集成硅散装 - 微机械加速度计和压力传感器
作者:
Jiachou Wang
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
TPMS sensor;
Front-side micromachining;
Piezoresistance;
Pressure sensor;
Accelerometer;
61.
AMBIPOLAR SI NANOWIRE FIELD EFFECT TRANSISTORS FOR LOW CURRENT AND TEMPERATURE SENSING
机译:
Ambipolar Si纳米线场效应晶体管用于低电流和温度传感
作者:
D. Sacchetto
;
G. De Micheli
;
Y. Leblebici
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Schottky barrier;
Sensing;
Nanowire;
FET;
Ambipolar;
62.
SUB-DEGREE-PER-HOUR SILICON MEMS RATE SENSOR WITH 1 MILLION Q-FACTOR
机译:
每小时硅MEMS速率传感器,100万Q系数
作者:
I. P. Prikhodko
;
S. A. Zotov
;
A. A. Trusov
;
A. M. Shkel
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS gyroscope;
North-finding;
Gyrocompassing;
63.
FABRICATION OF PLASMA PROBE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
机译:
化学气相沉积的血浆探头的制备
作者:
Wen Yuan
;
Karumbaiah N. Chappanda
;
Massood Tabib-Azar
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
RF Plasma;
AFM-CVD;
Plasma CVD;
Tip-based nanofabrication;
Atmospheric plasma;
64.
ENCAPSULATED MECHANICALLY COUPLED FULLY-DIFFERENTIAL BREATHE-MODE RING FILTERS WITH ULTRA-NARROW BANDWIDTH
机译:
具有超窄带宽的机械连接的机械连接的全差分呼吸模式环形过滤器
作者:
S. Wang
;
S. A. Chandorkar
;
A. B. Graham
;
M. W. Messana
;
J. Salvia
;
T. W. Kenny
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Encapsulation;
Breathe-mode ring;
Ultra-narrow bandwidth;
65.
DUAL-BAND MEMS FABRY-PEROT FILTER WITH TWO MOVABLE REFLECTORS FOR MID- AND LONG-WAVE INFRARED MICROSPECTROMETERS
机译:
双频带MEMS Fabry-Perot过滤器,具有两个可移动反射器,用于中频和长波红外测定器
作者:
M. Meinig
;
M. Ebermann
;
N. Neumann
;
S. Kurth
;
K. Hiller
;
T. Gessner
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Infrared filter;
Fabry-Perot interferometer;
Dual-band;
MWIR;
LWIR;
Microspectrometer;
66.
MEASUREMENT OF SHEAR STRESS BETWEEN SINGLE-WALL CARBON NANOTUBES AND SUBSTRATES USING NEMS DEVICES
机译:
使用NEMS器件测量单壁碳纳米管和基板之间的剪切应力
作者:
H. Y. Pan
;
Y. C. Wu
;
P. J. Ryan
;
G. G. Adams
;
N. E. McGruer
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
SWNT;
NEMS cantilever;
Shear stress;
67.
LENS SCANNING BASED MEMS CATHETER FOR FORWARD ENDOSCOPIC OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY
机译:
基于镜头扫描基于MEMS导管,用于前端镜片光学相干断层扫描
作者:
H. C. Park
;
C. Song
;
K. H. Jeong
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Lens scanner;
Optical Coherence Tomography (OCT);
Spectral Domain Optical Coherence Tomography (SD-OCT);
Endoscopic catheter;
Micro-optical bench;
68.
TOWARDS QUANTIFICATION OF BIOCOMPATIBILITY: MONITORING INGROWTH BEHAVIOR OF BIOMATERIALS IN TISSUE WITH A MICROSENSOR IMPLANT
机译:
朝向生物相容性的定量定量:用微传感器植入物监测组织中生物材料的发祥行为
作者:
M. Kubon
;
M. Moschallski
;
T. Ensslen
;
G. Link
;
S. Werner
;
C. Burkhardt
;
H. Hartmann
;
B. Schlosshauer
;
G. Urban
;
M. Stelzle
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microsensor;
Chemosensor;
Implant;
CAM-Assay;
Biocompatibility;
Biomaterial;
69.
WAFER-LEVEL THIN FILM VACUUM PACKAGES FOR MEMS USING NANOPOROUS ANODIC ALUMINA MEMBRANES
机译:
使用纳米多孔阳极氧化铝膜的MEMS的晶片级薄膜真空包装
作者:
J. Zekry
;
D. S. Tezcan
;
J. P. Celis
;
R. Puers
;
C. Van Hoof
;
H. A. C. Tilmans
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS packaging;
Wafer-level encapsulation;
RF-MEMS;
Porous anodic alumina;
Hermeticity;
70.
THERMAL ENERGY HARVESTING USING SHAPE MEMORY/PIEZOELECTRIC COMPOSITES
机译:
使用形状存储器/压电复合材料进行热能收获
作者:
G. A. Lebedev
;
B. V. Gusarov
;
B. Viala
;
J. Delamare
;
O. Cugat
;
T. Lafont
;
D. I. Zakharov
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
71.
TECHNOLOGY AND CHARACTERISTICS OF MICROHUMIDITY SENSORS
机译:
微红传感器的技术与特征
作者:
S. A. Krutovertsev
;
A. E. Tarasova
;
L. S. Krutovertseva
;
M. V. Chuprin
;
O. M. Ivanova
;
Yu. S. Sazhinev
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Silica;
Sol-gel;
Thin film;
Humidity sensor;
72.
POWER SWITCH SYSTEM BASED ON MICROELECTROMECHANICAL SWITCH
机译:
基于微机电开关的电源开关系统
作者:
B. Li
;
C. Keimel
;
G. Claydon
;
J. Park
;
A. D. Corwin
;
M. Aimi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microelectromechanical switch;
Power switch;
Electrical protection;
73.
CONTINUOUS FLOW LAYER-BY-LAYER MICROBEAD FUNCTIONALIZATION VIA A MICROPOST ARRAY RAILING SYSTEM
机译:
通过MicroPost阵列栏杆系统连续流动层逐层微珠官能化
作者:
Ryan D. Sochol
;
Ryan Ruelos
;
Valerie Chang
;
Megan E. Dueck
;
Luke P. Lee
;
Liwei Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Layer-by-Layer;
Microbeads;
Microfluidics;
Railing;
74.
STUDY OF VIBRATION-INDUCED BROADBAND FLEXIBLE PIEZOELECTRIC ZNO MICRO-HARVESTER WITH STORAGE SYSTEM
机译:
振动宽带柔性压电Zno微收割机与储存系统的研究
作者:
C. T. Pan
;
Z. H. Liu
;
Y. C. Chen
;
W. T. Chang
;
Y. J. Chen
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Vibrational energy harvester;
Broadband width;
Rectification;
Storage module;
Flexible substrate;
ZnO;
Optimum thickness of substrate;
UV-curable resin;
FEA;
75.
FULLY INTEGRATED DILUTION SERIES GENERATION ON A LABORATORY CENTRIFUGE
机译:
在实验室离心机上完全集成稀释系列代
作者:
O. Strohmeier
;
M. Rombach
;
D. Mark
;
R. Zengerle
;
G. Roth
;
F. von Stetten
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Lab-on-a-Chip;
Dilution series generation;
Centrifugal microfluidics;
76.
NOVEL COUPLING CONCEPT FOR FIVE-CONTACT VERTICAL HALL DEVICES
机译:
五触点垂直霍尔设备的新型耦合概念
作者:
T. Kaufmann
;
F. Purkl
;
P. Ruther
;
O. Paul
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Vertical Hall sensor;
Serial coupling;
Offset reduction;
Magnetic field sensors;
77.
PASSIVE-SELF-TUNABLE VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER
机译:
被动自我调谐的振动能量收割机
作者:
S. E. Jo
;
M. S. Kim
;
Y. J. Kim
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Energy harvester;
Resonant frequency;
Passive tuning;
Self tunable;
Real time;
78.
ON-CHIP RF INDUCTORS WITH MAGNETIC NANO PARTICLES MEDIUM
机译:
片上射频电感器,磁性纳米粒子介质
作者:
C. Yang
;
K. Koh
;
X. Zhu
;
L. Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Inductor;
Magnetic Medium;
Nano Particle;
RF-MEMS;
79.
MICROFABRICATION AND PACKAGING OF A RUBIDIUM VAPOR CELL AS A PLASMA LIGHT SOURCE FOR MEMS ATOMIC CLOCKS
机译:
铷蒸气池的微制造和包装作为MEMS原子钟的等离子体光源
作者:
V. Venkatraman
;
Y. Petremand
;
C. Affolderbach
;
G. Mileti
;
N. de Rooij
;
H. Shea
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Plasma light source;
Rubidium;
Chip-scale atomic clocks;
Anodic bonding;
80.
A PRESSURE PROGRAMMABLE GAS CHROMATOGRAPHY MICROSYSTEM UTILIZING MOTIONLESS KNUDSEN PUMP, FIBER-INTEGRATED OPTICAL DETECTOR, AND SILICON MICROMACHINED SEPARATION COLUMN
机译:
利用动态knudsen泵,光纤集成光学检测器和硅微机械分离柱的压力可编程气相色谱微系统
作者:
Jing Liu
;
Naveen K. Gupta
;
Xudong Fan
;
Kensall D. Wise
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Environmental health monitoring;
Chemical sensing;
Optical detector;
Free-molecular flow regime;
Transitional flow regime;
Fabry-Perot optical detector;
Knudsen pump;
81.
A COMPACT PROJECTION SYSTEM ENABLING TOPOGRAPHICAL MEASUREMENTS FOR A MINIATURIZED SUBMERSIBLE EXPLORER
机译:
一种紧凑的投影系统,可为小型化潜水器提供地形测量
作者:
J. Jonsson
;
M. Berglund
;
H. Kratz
;
H. Nguyen
;
G. Thornell
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Diffractive optical element;
Miniaturization;
Photo-grammetry;
82.
A MEMS DIFFERENTIAL AFFINITY SENSOR FOR CONTINUOUS GLUCOSE DETECTION
机译:
用于连续葡萄糖检测的MEMS差分亲和力传感器
作者:
X. Huang
;
J. Oxsher
;
C. LeDuc
;
Y. Ravussin
;
Q. Wang
;
D. Accili
;
R. Leibel
;
Q. Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Affinity Binding;
Biosensor;
Glucose Detection;
Implantable Sensor;
MEMS;
83.
FIELD TESTING OF A RUGGED MEMS GAS CHROMATOGRAPH PROTOTYPE: SELECTIVE ANALYSIS OF TRACE-LEVEL TCE VAPORS IN CONTAMINATED HOMES
机译:
崎岖的MEMS气相色谱仪原型的现场测试:污染房屋中痕量TCE蒸汽的选择性分析
作者:
S. K. Kim
;
H. Chang
;
J. G. Bryant
;
D. R. Burris
;
E. T. Zellers
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Micro Gas Chromatograph;
μGC;
Sensor Array;
Microsystem;
Vapor Analysis;
Trichloroethylene;
84.
LARGE ARRAY ELECTROSPUN PVDF NANOGENERATORS ON A FLEXIBLE SUBSTRATE
机译:
大阵列Electromun PVDF纳米电磁炉在柔性基板上
作者:
Jiyoung Chang
;
Liwei Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
PVDF;
Nanogenerator;
Nanofiber;
Energy harvester;
Flexible substrate;
85.
PROCESS OPTIMIZATION AND PERFORMANCE ANALYSIS OF AN ELECTROSTATICALLY ACTUATED VARIFOCAL LIQUID LENS
机译:
静电致动变型液体透镜的过程优化与性能分析
作者:
A. Pouydebasque
;
S. Bolis
;
C. Bridoux
;
F. Jacquet
;
S. Moreau
;
E. Sage
;
D. Saint-Patrice
;
C. Bouvier
;
C. Kopp
;
N. Sillon
;
S. Fanget
;
E. Vigier-Blanc
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Liquid lens;
Variable-focus lens;
Electrostatic actuation;
86.
REDUCING STICTION IN MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS BY NANOMETER-SCALE FILMS GROWN BY ATOMIC LAYER DEPOSITION
机译:
通过原子层沉积生长的纳米级膜在微机电系统中减少微机电系统
作者:
R. L. Puurunen
;
A. Haara
;
H. Ritala
;
J. Dekker
;
M. Kainlauri
;
H. Pohjonen
;
T. Suni
;
J. Kiihamaki
;
E. Santala
;
M. Leskela
;
H. Kattelus
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Atomic layer deposition;
Stiction;
Cantilever beam array;
Al_2O_3;
TiO_2;
MoN;
87.
DIRECT GROWTH OF SINGLE WALLED CARBON NANOTUBES ON PAPER
机译:
纸上单壁碳纳米管的直接生长
作者:
Q. Zhou
;
K. Liu
;
L. Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotube;
Self-alignment;
Paper;
Plastic substrate;
Chemical vapor deposition;
88.
A MEMS MICRO-REED SWITCH DESIGNED FOR PORTABLE APPLICATIONS
机译:
MEMS微簧开关专为便携式应用而设计
作者:
Min Tang
;
Yong Hean Lee
;
Rakesh Kumar
;
Ravi Shankar
;
Olivier Le Neel
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
89.
MINIATURE ULTRASOUND ACOUSTIC IMAGING DEVICES USING 2-D PMUTS ARRAY ON EPITAXIAL PZT/SrRuO_3/Pt/γ-Al_2O_3/Si STRUCTURE
机译:
在外延PZT / SRRUO_3 / Pt /γ-AL_2O_3 / SI结构上使用2-D PMUT阵列的微型超声声学成像装置
作者:
Daisuke Akai
;
Takahiro Yogi
;
Ikuo Kamja
;
Yasuyuki Numata
;
Katsuya Ozaki
;
Kazuaki Sawada
;
Nagaya Okada
;
Kazuki Higuchi
;
Makoto Ishida
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT);
Acoustic imaging;
PZT;
Thin film;
Al_2O_3;
90.
MEMS TECHNOLOGY DEVELOPMENT AND MANUFACTURING IN A CMOS FOUNDRY
机译:
MEMS技术开发和制造在CMOS铸造厂
作者:
C. M. Liu
;
Bruce C. S. Chou
;
Robert Chin-Fu Tsai
;
Nick Y. M. Shen
;
Benior S. F. Chen
;
Emerson C. W. Cheng
;
Hsiao Chin Tuan
;
Alex Kalnitsky
;
Sean Cheng
;
Chung-Hsien Lin
;
Tien-Kan Chung
;
Kuei-Sung Chang
;
Yi-Shao Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
MEMS Foundry Service;
CMOS-MEMS;
91.
NANOPARTICLE SELF-ASSEMBLY BASED TRIPETALOID ARRAYED STRUCTURES AS SURFACE-ENHANCED RAMAN SCATTERING SUBSTRATES
机译:
基于基于基于三方形的Tripharoid阵列结构作为表面增强拉曼散射基板
作者:
C. Qian
;
W. X. Yu
;
W. G. Wu
;
Y. F. Wang
;
H. Y. Mao
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Tripetaloid arrayed structure;
Nanoparticles;
Surface-enhanced Raman scattering;
Enhancement factor;
92.
A HIERARCHICAL APPROACH FOR THE FABRICATION OF THREE-DIMENSIONAL MICROBATTERY ELECTRODES
机译:
三维微滴式电极制造的层次方法
作者:
K. Gerasopoulos
;
E. Pomerantseva
;
M. McCarthy
;
J. Culver
;
C. Wang
;
R. Ghodssi
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microbatteries;
Nanostructures;
Virus;
Templates;
Hierarchical;
93.
A STATE-CONVERTING INLINE RF MEMS POWER SENSOR USING GAAS MMIC TECHNOLOGY
机译:
使用GaAs MMIC技术的一种状态转换内联RF MEMS功率传感器
作者:
Zhiqiang Zhang
;
Xiaoping Liao
;
Lei Han
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microwave power measurement;
RF MEMS;
State conversion;
GaAs MMIC;
94.
A GLUCOSE-RESPONSIVE INSULIN DELIVERY MICRO DEVICE EMBEDDED WITH NANOHYDROGEL PARTICLES AS 'SMART VALVES'
机译:
含有纳米水凝胶颗粒的葡萄糖响应性胰岛素递送微型装置,为“智能阀”
作者:
Jian Chen
;
Claudia R. Gordijo
;
Michael Chu
;
Xiao Yu Wu
;
Yu Sun
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Controlled Drug Delivery;
Micro Devices;
Glucose-Responsive Membranes;
PH-Responsive Hydrogel Nano Particles;
95.
ON-CHIP OPTICAL POWER MEASUREMENT BY OPTICAL FORCE
机译:
通过光学力量的片上光功率测量
作者:
J. F. Tao
;
H. Cai
;
A. B. Yu
;
W. M. Zhu
;
Q. X. Zhang
;
J. Wu
;
K. Xu
;
J. T. Lin
;
G. Q. Lo
;
D. L. Kwong
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Optical detection;
On-chip measurement;
Tunneling sensor;
Optical force;
96.
EFM STUDY OF THE INFLUENCE OF HUMIDITY ON CHARGE INJECTION AND CHARGE RELAXATION IN SILICON NITRIDE USED IN ELECTROSTATICALLY ACTUATED MEMS
机译:
EFM对静电MEMS中使用氮化硅电荷注射和电荷弛豫的影响研究
作者:
A. Nowodzinski
;
T. Toussaint
;
A. Koszewski
;
F. Souchon
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Charging;
Dielectric;
EFM;
MEMS;
Reliability;
Silicon nitride;
RF-MEMS;
Humidity;
97.
AMORPHOUS SILICON-COATED CNT FOREST FOR ENERGY STORAGE APPLICATIONS
机译:
用于储能应用的非晶硅涂层CNT林
作者:
A. Kozinda
;
Y. Jiang
;
L. Lin
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotube;
Silicon;
Supercapacitor;
Lithium ion battery;
Energy storage;
98.
ISOLATION OF TUMOR CELLS USING A NEW MICROFLUIDIC INCUBATOR WITH MOVING-WALL STRUCTURES
机译:
使用具有移动壁结构的新型微流体培养箱分离肿瘤细胞
作者:
Ying-Hsin Chuang
;
Lien-Yu Hung
;
Keng-Fu Hsu
;
Cheng-Yang Chou
;
Gwo-Bin Lee
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Moving-wall structures;
Tumor cell;
Microfluidics;
99.
NANOPLASMONIC PHOTOCONDUCTIVE ANTENNA FOR HIGH POWER TERAHERTZ EMISSION
机译:
高功率太赫兹排放的纳米升电光天线
作者:
S. Park
;
K. Jin
;
J. Ye
;
K. H. Jeong
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Plasmonic nanoantenna;
Photoconductive antenna;
THz wave;
100.
A PASSIVE CHECK VALVE USING MICROSPHERES FOR LOW PRESSURE AND LOW FLOW RATE APPLICATIONS
机译:
用于低压和低流量应用的微球的无源止回阀
作者:
K. Ou
;
M. Chiao
会议名称:
《International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference》
|
2011年
关键词:
Microvalve;
Microsphere check valve;
Microfluidics;
Micropump;
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