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Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis
Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis
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1.
Arc-induced gate oxide breakdown in plasma etching process
机译:
等离子体蚀刻工艺中的电弧诱导的栅极氧化物分解
作者:
Jungwoo Song
;
Heegee Lee
;
Junghoon Lee
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
2.
Statistical multilot characterization of spatial thickness variations in LPCVD oxide nitride polysilicon and thermal oxide films
机译:
LPCVD氧化物氮化物多晶硅和热氧化物膜的空间厚度变化的统计多电积
作者:
Edwin Carlen
;
Carlos H. Mastrangelo
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
3.
Yield-enhanced routing for high-performance VLSI designs
机译:
高性能VLSI设计的产量增强路由
作者:
Arunshankar Venkataraman
;
Howard H. Chen
;
Israel Koren
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
4.
STADIUM SOI reliability simulator for the analysis of hot-electron and ESD-induced degradation in nonisothermal devices
机译:
体育场SOI可靠性模拟器,用于分析热电子和ESD诱导的非吸收装置中的降解
作者:
Sungkwon Lee
;
Thomas J. Sanders
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
5.
Die allocation optimization for yield improvement
机译:
屈服改善的模具配置优化
作者:
Carlos Ortega
;
Miguel Recio
;
Alfonso Urquia
;
Guillermo Sanchez
;
Ubaldo Nogal
;
Alfonso Badillo
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
6.
Unique case study of low yield analysis of 1.5-um BiCMOS technology
机译:
1.5-UM BICMOS技术低产分析的独特案例研究
作者:
C.S. Teoh
;
James Lin
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
7.
Failure rate estimation in the case of zero failures
机译:
零故障情况下的故障率估计
作者:
David J. Meade
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
8.
Statistical effects of plasma etch damage on hot-carrier degradation
机译:
等离子体蚀刻损伤对热载体降解的统计影响
作者:
Bharat L. Bhuva
;
Vijay Janapaty
;
N.Bui
;
Sherra E. Kerns
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
9.
Effect of cycle time and fab yield variation on the number of wafer outs variability: a Monte Carlo case study
机译:
循环时间和FAB产生变化对晶片输出的变化的变化:蒙特卡罗案例研究
作者:
Carlos Ortega
;
Javier Bonal
;
Javier C. Collado
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
10.
Quick kill passivation integrity study
机译:
快速杀死钝化完整性研究
作者:
Karl Huber
;
Simon Gonzales
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
11.
Knowledge-based software system for fast yield loss detection in a semiconductor fab
机译:
基于知识的软件系统,用于半导体Fab中的快速屈服损失检测
作者:
Victorino Martin Santamaria
;
Miguel Recio
;
Miguel A. Merino
;
Julian Moreno
;
Almudena Fernandez
;
Gerardo Gonzalez
;
Guillermo Sanchez
;
Luis J. Barrios
;
Maria D. del Castillo
;
Lissette Lemus
;
Angel L. Gonzalez
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
12.
Investigations of mechanical stress and electromigration in an aluminum meander structure
机译:
铝曲面结构中机械应力和电迁移的研究
作者:
Xiaoying Yu
;
Kirsten Weide
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
13.
Evaluation of pad life in chemical mechanical polishing process using statistical metrology
机译:
使用统计计量评价化学机械抛光过程中的垫寿命
作者:
N. Moorthy Muthukrishnan
;
Sharad Prasad
;
Brian E. Stine
;
William Loh
;
Ron Nagahara
;
James E. Chung
;
Duane S. Boning
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
14.
Characterization of environmental halogen molecule contamination-induced pad surface corrosion
机译:
环境卤素分子污染诱导垫表面腐蚀的表征
作者:
Po-Tao Chu
;
Ching-Wen Cho
;
Hung-Chi Hsiao
;
Jie-Shin Wu
;
Chih-Chien Hung
;
Yin-Chen Chao
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
15.
Automatic final inspection: an important nonexpensive control to guarantee long-term reliability
机译:
自动最终检查:保证长期可靠性的重要非全面控制
作者:
Friedbalt Kiel
;
Guiseppe Balbo
;
Eyal Duzy
;
Olga Andrianaivo-Golz
;
Thomas Kohnen
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
16.
Modeling of defect propagation/growth for yield impact prediction in VLSI manufacturing
机译:
VLSI制造中缺陷繁殖/增长的缺陷繁殖/增长
作者:
Xiaolei Li
;
Andrzej J. Strojwas
;
Aaron L. Swecker
;
Mahesh Reddy
;
Linda Milor
;
Yung-Tao Lin
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
17.
Coupling between hot-carrier degradation modes of pMOSFETs
机译:
PMOSFET热载体降解模式之间的耦合
作者:
Vijay Janapaty
;
Bharat L. Bhuva
;
N.Bui
;
Sherra E. Kerns
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
18.
Defect cluster analysis to detect equipment-specific yield loss based on yield-to-area calculations
机译:
缺陷聚类分析以检测基于产量到区域计算的特定设备的产量损失
作者:
Christopher Hess
;
Larg H. Weiland
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
19.
Automated redundant via placement for increased yield and reliability
机译:
通过放置自动化冗余,以提高产量和可靠性
作者:
Gerard A. Allan
;
Anthony J. Walton
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
20.
Die-counting algorithm for yield modeling and die-per-wafer optimization
机译:
屈服建模和芯片芯片优化的模切算法
作者:
Gregg D. Croft
;
Robert L. Lomenick
;
Douglas L. Youngblood
;
Jeffrey M. Johnston
会议名称:
《Conference on microelectronic manufacturing yield, reliability, and failure analysis》
|
1997年
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