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机译:CMP机械过程中非牛顿浆液中纳米颗粒的行为
State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China;
Department of Mechanology University of Science and Technology Beijing 100083 China;
State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China;
State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China;
non-Newtonian fluid; chemical mechanical polishing; nano particle; multiphase flow;
机译:CMP机械过程中非牛顿浆液中纳米颗粒的行为
机译:非牛顿浆液中纳米粒子的行为导致粗糙表面上的高压
机译:浅沟槽隔离化学机械抛光(STI-CMP)中二氧化铈浆料的纳米形貌影响和非Prestonian行为
机译:纳米颗粒在化学机械抛光中的行为及其对非牛顿泥浆性质的影响
机译:研究新型氧化铝纳米磨料及其在铜化学机械平面化(CMP)浆料中与基本化学成分的相互作用。
机译:纤维素纳米颗粒对油井水泥水浆流变行为的影响
机译:纳米粒子的化学 - 机械冲击和浆料的pH效应对选择性层表面Cmp的影响