We have proposed a novel method of non-contact thermal type measurement for low flow rates using radiation heating and spectroscopy of water in the near-infrared wavelength range. We made a simulation for studying the performance of the flowmeter, and based on the simulation we conducted experiments using a prototype flowmeter. We obtained calibration curves between the estimated and true flow rates. From the experimental results, we can measure the flow rates from 0.3 to 9 ml/ min with the accuracy of about 10% of the flow rate. We also obtained agreement between the simulation and measurement results. Discussions are made to improve the measurement accuracy.%近年の半導体製造分野においては製造プロセスの高rn度化や微細化に伴い，装置に対する要求が厳しくなっrnてきている．流量計もこの分野において重要な装置のrn一つであり，求められる性能としては，洗浄液や薬液rnの数ml/min程度の微量流量の高精度測定，それらの純rn度を保つための非接触による測定などがあげられる．
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机译：我们提出了一种新的非接触式热类型测量方法，该方法使用辐射加热和近红外波长范围内的水光谱对低流量进行测量，并进行了模拟研究以研究流量计的性能，并在此基础上进行了模拟我们获得了估计流速与真实流速之间的校准曲线，从实验结果可以测量0.3至9 ml / min的流速，准确度约为流速的10％。为了提高测量精度，人们进行了讨论。％近年来，在半导体制造领域中，随着制造工艺越来越高，对设备的需求也越来越严格。 。流量计也是该领域的重要设备之一，所需的性能是对清洗液或化学液体的微小流量rn / ml的分钟流量进行高精度测量，并且无示例包括接触测量。
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