定在波を加えた3ステートPWM方式による進行波形超音波モータの駆動特性

摘要

ロボットの機能として，高精度な位置決めや力制御などが求められる．従来，ロボットのアクチュエータとしてそのほとんどは電磁式モータが使用されているが，その構造は減速機を組合わせた機構であり，ギヤのバックラッシュや低速でのトルク不足などの課題がある．進行波形超音波モータ（以下超音波モータと呼ぶ）は，圧電素子による超音波振動を利用した摩擦駆動形のモータであり，巻線が不要で構造が簡単，小形・軽量，ダイレクトドライブが可能，高応答性などの特徴を持つ．