МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК AlSiN, ИССЛЕДОВАННЫЕ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ, КАК КРИТЕРИЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ СТАБИЛЬНОСТИ

摘要

Представлены результаты исследования шероховатости, микротвердости и модуля упругости пленок AlSiN толщиной 300 нм в исходном состоянии и после термического отжига при температуре 600—900°С в вакууме и при 400—1000°С на воздухе. Покрытия с нанокристаллической (6 ат.% Si) и аморфной (30 ат.% Si) структурами сформированы магнетронным распылением. Методом атомно-силовой микроскопии установлено, что шероховатость и нанокристаллических, и аморфных пленок после отжига до 800°С практически не изменяется. В результате наноиндентирования установлено, что зависимости модуля упругости аморфных пленок от температуры отжига и в вакууме, и на воздухе полностью совпадают, а в случае нанокристаллических пленок они достаточно близки.