ФАЗЫ СОЕДИНЕНИЙ ВОЛЬФРАМА В АЛМАЗОПОДОБНЫХ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ НАНОКОМПОЗИТАХ

摘要

Проведены исследования форм вхождения вольфрама в алмазоподобные кремний-углеродные пленки методами электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Пленки изготавливались одновременным плазмохимическим разложением кремнийсодержащего органического прекурсора и магнетронным распылением металла. Установлено, что пленки воль-фрамсодержащих алмазоподобных кремний-углеродных нанокомпозитов, наряду с нанокристал-лической фазой карбида вольфрама, содержат значительное количество аморфной фазы оксида вольфрама.