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机译:用于高K应用的碳化硅上结晶g氧化物的生长和表征
Univ Hannover, Informat Technol Lab, D-30167 Hannover, Germany;
Univ Hannover, Inst Elect Mat & Devices, D-30167 Hannover, Germany;
high-K dielectrics; Gd2O3; SiC; MBE; XRD; RHEED; C-V measurements; I-V measurements; PRASEODYMIUM OXIDE; EPITAXIAL-GROWTH; 6H-SIC(0001); DIELECTRICS; SI(001); STACKS; FILMS; GD2O3;
机译:分子束外延在碳化硅上生长的晶体稀土氧化物高K电介质的表征
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