MOCVD法による化合物半導体エピタキシャル成長（Ⅲ）

摘要

近年、パソコン、ゲーム機やミュージックプレイrnヤー、各種家電におけるワイヤレス通信利用機器のrn発展には著しいものがある。さらに最近では高速移rn動中でも大容量のデータ通信可能な次世代ワイヤレrnスブロードバンドネットワークサービスの開始、まrnたTVやHDDといった家電同士のHDTV信号情報のrnワイヤレス化等、次々に各種の高速?大容量無線通rn信技術が実現されつつある。