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机译:MEMS热流传感器 - 准确性调查
Univ Cambridge Ctr Adv Photon & Elect Cambridge CB3 0FA England|Flusso Ltd Cambridge CB23 6DP England;
Flusso Ltd Cambridge CB23 6DP England;
Univ Warwick Dept Elect & Elect Engn Coventry CV4 7AL W Midlands England;
Univ Warwick Dept Elect & Elect Engn Coventry CV4 7AL W Midlands England;
Univ Cambridge Ctr Adv Photon & Elect Cambridge CB3 0FA England|Flusso Ltd Cambridge CB23 6DP England;
Univ Cambridge Ctr Adv Photon & Elect Cambridge CB3 0FA England|Flusso Ltd Cambridge CB23 6DP England;
Univ Cambridge Ctr Adv Photon & Elect Cambridge CB3 0FA England|Flusso Ltd Cambridge CB23 6DP England;
MEMS; flow sensor; micro-fabrication; accuracy; numerical modeling;
机译:MEMS热流传感器—精度研究
机译:二维CMOS MEMS热流传感器具有高灵敏度和提高精度
机译:用于气体的新型单短脉冲MEMS上游热流传感器,用于测量导热系数和热扩散率
机译:外延GaN层对MEMS和热流传感器应用的压阻性能和温度系数研究
机译:具有电容式传感器的MEMS器件的高精度运动估计
机译:MEMS压力传感器灌封粘性诱导热应力的研究
机译:基于SOI的MEMS电容传感器具有不对称结构的热漂移研究