公开/公告号CN112213520A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;
申请/专利号CN202011048545.1
申请日2017-03-27
分类号G01P15/125(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人董莘
地址 意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2023-06-19 09:30:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-27
授权
发明专利权授予
机译: MEMS加速度传感器,精度高,对温度和老化的敏感性低
机译: VCO电路在不同的工艺和工作温度下具有低增益变化,并且电源噪声灵敏度低
机译: MEMS技术中的加速度传感器,具有高精度和对温度和老化的低敏感性