高灵敏度低工作温度的氢气传感器

摘要

我们制备了新型的高灵敏度低工作温度的氢气传感器。该传感器基于静电纺丝法合成的混有碳纳米管的Pd-Ni-SnO_2纳米纤维。对合成的材料通过XRD、SEM、TEM、SAED进行了表征。传感器以3×4mm^2带有Pt电极的SiNx-Si-SiNx片为衬底,敏感层的面积为1.5×2.5mm^2。在室温下(25℃),该传感器对H_2有着很好的气敏特性,对1ppm H_2其敏感度达到15,响应和恢复时间分别为6s和9s,同时传感器在90天内敏感特性几乎不变,说明其具有优异的稳定性。