机译:自谐振调频微机械被动压力传感器
coils; frequency modulation; inductors; membranes; micromachining; microsensors; pressure sensors; transponders; 0.5 mm; 0.95 mm; 3 mm; 9 mm; Integrated coil, microelectromechanical systems (MEMS), micromachining, pressure sensor, transponder.; cylindrical ferrite co;
机译:确定微机械螺旋电感器自谐振频率的模型
机译:微型自谐振结构作为无源无线介电常数和电导率传感器
机译:高精度光纤压力传感器使用频率调制的连续波激光干扰
机译:微机械的自谐振频频率调制被动压力转换转变
机译:智能微孔板:将光电二极管集成在微机械加工的硅锥体空腔内,用于检测化学发光反应和无源RFID类型读数的方法。
机译:具有在大气压下工作的集成谐振器的微机械压力传感器
机译:高精度光纤压力传感器,使用频率调制的连续波激光干扰
机译:平面表面微加工压力传感器,带有一个子表面,嵌入式参考压力腔