机译:参数激励下静电激励谐振MEMS传感器的非线性动力学分析
electrostatic actuators; microsensors; nonlinear dynamical systems; system monitoring; MEMS resonant sensors; ac excitation amplitude; cubic stiffness; dc bias; electrostatic force; microbeam resonant sensors; microelectromechanical systems sensors; nonlinear dynam;
机译:参数激励下静电激励谐振MEMS传感器的非线性动力学分析
机译:结合参数激励和谐波强迫激励的MEMS静电谐振陀螺仪的控制方案
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机译:谐振静电MEMS执行器的非线性参数识别
机译:CmOs mEms谐振磁场传感器,具有差分静电驱动和电容传感