机译:单晶片处理的可自我测试的高$ g $加速度计,其传感和致动元件均集成在沟槽侧壁上
accelerometers; automatic testing; cantilevers; micromachining; piezoresistive devices; boron-diffused piezoresistive sensors; electrostatic self-testing function; in-plane self-caging cantilever configuration; microsensor; piezoresistors; single-chip integrated l;
机译:具有MOSFET型感应元件的集成数字硅微加速度计
机译:以双稳态静电驱动悬臂为传感元件的共振加速度计的可行性研究
机译:集成压电直流传感器,具有适用于双线直流电器的致动和传感元件:理论考虑
机译:用沟槽侧壁掺杂和再填充沟隔离技术制造的单晶片加工XY级
机译:小学教师态度指导英语学习者(ELLS),形成性评估,教学ells,高阶文化反应的教学实践和学校领导人在高中和低级达到学校的校长支持
机译:传感器致动器:具有生物启发性梯度间隙的4D打印应变自感和温度自感集成传感器致动器(Adv。Sci。13/2020)
机译:执行器:基于石墨烯的执行器,具有集成传感功能(ADV。Funct。Matter。5/2019)
机译:mYmE2:用于自动高分辨率遥感烧伤疤痕的多载荷集成程序