机译:通过a-Si:H温度传感器阵列监视薄膜加热器中的温度分布
机译:集成在薄膜加热器中的a-Si:H温度传感器
机译:使用微气体传感器中嵌入的Pt薄膜温度传感器对微加热器进行温度控制
机译:使用阵列微传感器监控硅基微重整器内的温度分布
机译:PECVD法制备不同沉积温度的氢稀释a-Si:H薄膜的结构和光学性质
机译:使用在垂直和水平方向上的加热棒的封闭阵列中测得的温度进行CFD模拟的基准测试。
机译:薄膜传感器阵列相对局部表面温度的实时二维映射
机译:Micr Mical Sentor嵌入PT薄膜温度传感器的微加热器温度控制