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机译:压电激励MEMS传感器,具有集成平面线圈,用于检测液体中的黑色金属颗粒
TU Wien Inst Sensors & Actuator Syst Gusshausstr 27-29 A-1040 Vienna Austria|AC2T Res GmbH Austrian Ctr Competence Tribol Viktor Kaplan Str 2 A-2700 Wr Neustadt Austria;
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AC2T Res GmbH Austrian Ctr Competence Tribol Viktor Kaplan Str 2 A-2700 Wr Neustadt Austria;
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Ferrous particles; MEMS sensor; Magnetophoresis; Resonant mass sensor;
机译:具有相互垂直激励线圈和检测线圈的MEMS微通量门传感器
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机译:聚合物纳米颗粒与激发态分子内质子转移 - 荧光模块一体化为检测维生素B-1的传感器
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机译:压电激励毫米级悬臂(PEMC)传感器用于基于DNA的检测。
机译:用于香烟微粒检测的压电MEMS谐振器
机译:基于压电薄膜器件激励的体声波的mEms传感器物理性能,性能及应用研究