机译:碳掺杂超低k介电层的等离子刻蚀中变化的C_4F_8 / O_2气体比率的研究
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin, Republic of Ireland;
机译:抑制基于碳氟化合物的等离子体刻蚀过程中掺杂碳的低k介电层中的碳耗尽
机译:等离子体参数对刻蚀过程中沉积在掺碳低k介电层上的稳态碳氟化合物薄膜化学成分的影响
机译:甲基倍半硅氧烷SiOC(H)低k材料和SiC(H)蚀刻停止层的高密度碳氟化合物等离子体蚀刻:表面分析和蚀刻机理研究
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统中基于SF_6 / C_4F_8 / Ar / O_2的化学物质对石英的高速各向异性刻蚀
机译:使用电感和电容耦合的碳氟化合物放电对电介质材料进行等离子蚀刻:表面化学机理的研究。
机译:微波辅助碳浴法及随后的等离子刻蚀法将FeCo合金原位固定在掺氮碳上的有效氧还原反应性能
机译:不同碳掺杂浓度GaN层缺陷特性和载流子传输机制的研究