机译:MOCVD和等离子增强ALD生长的NbN薄膜在高k / SiO_2栅堆叠中栅电极应用的评估
Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany;
Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany;
Inorganic Chemistry II-Organometallics & Materials - Ruhr-University Bochum, Universitaetsstr. 150, D-44879 Bochum, Germany;
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Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany Electron Devices, Friedrich-Alexander University Erlangen-Nuremberg, Cauerstrasse 6, 91052 Erlangen, Germany;
机译:等离子体增强ALD在栅电极应用中NbN薄膜沉积的分析
机译:通过等离子体增强原子层沉积来研究高k ZrO2 / SiO2堆叠栅极绝缘体的界面特性,以提高insnzno薄膜晶体管的性能
机译:使用堆叠式等离子增强化学气相沉积SiO_2 / SiN_x栅极电介质增强多晶硅薄膜晶体管的稳定性
机译:Mo-ALD HFO {Sub} 2薄膜的工艺和电气特性,用于生产的高k门应用中的生产价值300 mm沉积系统
机译:研究常关模式的AlGaN / GaN MOS HEMT器件,该器件利用栅极后退和p-GaN栅极结构以及带有醛生长的高k栅极绝缘体来实现高功率应用。
机译:在硅晶片上合成的用于栅极电介质应用的新型高k碳氢化合物薄膜的原子力显微镜数据
机译:在低O2分压下通过mOCVD和pDa生长的具有超薄界面层的pr-si-O栅极堆叠