机译:Ge分级的SiGe HBT的动态SIMS,椭偏光谱和X射线衍射分析
IHP Leibniz Inst Innovat Mikroelekt, Technol Pk 25, D-15236 Frankfurt, Germany;
SIMS; SiGe; HBT; XRD; spectroscopic ellipsometry;
机译:光谱椭圆偏振法用于SiGe:C HBT技术的在线过程控制
机译:基于分层水动力噪声模拟的Si / SiGe HBT紧凑噪声建模评估
机译:基于表模型的弛豫时间的SiGe HBT流体动力学和蒙特卡洛一致性模拟
机译:Si /梯度-Si {sub}(1-x)ge {sub} x / si {sub}(1-x)ge}(1-x)ge×x异质结构通过光谱化学气相沉积使用光谱椭圆形测定的X / si}(1-x)X异质膜
机译:超薄保护涂层的制备及X射线光电子能谱和光谱椭圆形分析
机译:SiGe HBT局部应力过程中Au / Pt / Ti-Si3N4界面缺陷和反应的STEM纳米分析
机译:光谱椭偏仪表征高锗含量的硅锗异质结构和梯度合金层
机译:用变角光谱椭偏仪表征sige / Ge异质结构和渐变层