丸石産業新型シートを商品化研磨パッドの交换容易に

摘要

丸石産業㈱(東京都品川区南品川1-8-9、☎03-3472-3561)は、裏面粘着テープ仕様の研磨·CMPパッドを装置のプラテンから簡単に貼り剥がしできる新製品「Amelia(ァメリア)シート」を開発した。すでにフィールドテストを進めており、今後50プラテン以上でさらに評価を推進し、2022年6月期から年間100セット以上を目標にして販売を体格化する予定だ。