半導体産業のミニマルファブ構想新たな扉を開く！ ナノテックとの協業で開発加速 年度內に一部装置がユーザーサイトへ

摘要

㈱三明(静岡巿清水区松原町6-16、054-353-3271)は1928年4月創立の商社で、安川電機の代理店として長くサーボシステムを用いた制御技術を培ってきた。グループ会社にエレクトロニクスの三横河ソリューションサービス㈱(東京都武蔵野市中町2-9-32、0422-52-0439)は2013年4月、横河電機㈱の国内販売·エンジニアリング部門と、保守サービスを実行する横河フィールドエン明電子産業㈱、メカニクスの三明機工㈱を持ち、FPD用ストッカーなどを提供。ミニマルファブでは、協カ企業の㈱ナノテック(東京都板橋区)とともに局所クリーン化前室システム(PLAD)とマスクアライナーの開発を担当している。代表取締役社長の内藤義之氏と精機事業推進室の犬塚善樹課長に話を伺った。