半導体產業の新たな扉を開く ミニマルファブ構想! ハーフインチ対応の初号機を開発中 年度内にモデルルーム全体像完成へ

摘要

黒田精工㈱(川崎市幸区堀川町580-16、044-555-3800)は、1925年に各種ゲージを製造するメーカーとして創業し、ボールねじや金型など精密な技術を追究するなかから装置事業にも進出した。その精密へのこだわりは、半導体シリコンウエハー用の超精密表面形状測定装置「ナノメトロTTシリーズ」を生み出し、300mm用はもちろん、すでに450mm用でも出荷実績を持つ。技術本部開発センター長の進藤健一氏にミニマルファブに関する取り組みを伺った。